微机器人关键技术和应用.pdf

《机床与液压》2002No 6 ·3 · 综述与评论 微机器人关键技术及应用 　　　　　 杨志欣 , 孙宝元 , 董维杰 , 崔玉国　　　　　　 (大连理工大学机械工程学院 , 大连 116023) ( ) 摘要 : 微机器人是微机电系统 MEMS 的重要分支 , 是微机电系统发展的高级形式 。本文阐述了微机器人的关键技术 ; 从 微机器人关键技术这个新角度介绍了它的应用 ; 最后指出了微机器人发展中尚待解决的问题 , 并对其发展提出了若干建议 。 关键词 : 微机器人 ; 微执行器技术 ; 检测技术 ; 能源供给 ; 控制技术 中图分类号 : TP2426 　　文献标识码 : B 　　文章编号 : 1001 - 3881 (2002) 6 - 003 - 4 0 　引言 的光 - 热转换方式 ; 照射激光束以施加光压力的光 - 微机器人是在微细加工技术和微型机械电子产品 压驱动方式 ; 照射紫外线利用光致现象的光 - 变位转 基础上迅速发展起来的一个多学科交叉的前沿研究领 换方式 。②电磁供应方式 , 例如 : 使机器人处于磁场 ( ) 域 , 是微机电系统 MEMS 的重要分支 , 是微机电系 中 , 利用磁致伸缩效应使其运动 。③超声波 , 例如 : 统发展的高级形式 。目前 , 国内外对微机器人的研究 利用 “辐射压”以超声波进行非接触操作或产生推动 都很重视 , 各种微机器人的研究成果不断涌现 , 它已 力 。④机械振动 , 例如 : 在振动场放置弹性体 , 利用 [1] - [2] 成为举世瞩目的重大科技发展方向 。 共振现象有选择地供能和传送控制信号 。⑤其他方式 , 1 　微机器人的关键技术 如由外部施加温度变化 , 利用热电效应的方式 , 再如 微机器人系统一般由以下四部分组成 : ( 1) 微执 利用 DNA (脱氧核糖核酸) 的结构特性为微机器人提 行器 , (2) 微传感器 , (3) 微能源 , (4) 控制系统 , 供动力等等 。 与此对应的微执行器技术 、检测技术 、能源供给和控 (4) 控制技术 制技术就是微机器人的关键技术 。 微机器人的控制关键是在微小尺寸水平上的集成 , 当然将以上四部分集成在一起是微机器人发展的 即集成的机载控制器 。目前这个技术还没有很好地解 趋势 , 目前国内外的研究大多还没达到这一步 , 许多 决 , 有待计算机和部分外设集成技术的突破[4] 。现在 是分离的组件构成一个广义的机器人系统 。 大多数微机器人还是控制器与其余部分相分离 , 通过 ( 1) 微执行器技术 在微机器人中采用视觉伺服等技术 , 提高控制器的控 微执行器的研究 , 一直是微机械发展的关键 , 并 制性能和自主能力 。目前的重要问题是如何提高图像 在一定程度上标志着一个国家微机械发展水平[3] 。相 处理的速度 , 神经网络 、人工智能的引入将有助于解 比微传感器 , 实用化的微执行器还很少 。微执行器大 决这一问题 。另外 , 先进的控制策略 , 如路径规划 , 多