等离子体浸没离子注入与沉积合成碳化钛薄膜的摩擦磨损-摩擦学学报.PDF

第 24 卷　第 6 期 摩 擦 学 学 报 24, 　 6 V o l N o 2004 年 11 月 TR IBOL O GY N ov , 2004 等离子体浸没离子注入与沉积合成碳化钛 薄膜的摩擦磨损性能研究 刘洪喜, 汤宝寅, 王小峰, 王浪平, 于永泊告, 王宇航, 孙　韬 ( 哈尔滨工业大学 现代焊接生产技术国家重点实验室, 黑龙江 哈尔滨　15000 1) 摘要: 将等离子体浸没离子注入与沉积及射频辉光放电技术相结合, 在 GC r 15 轴承钢基体表面制备了碳化钛薄膜, 考 察了注入脉冲宽度和工作气体压力对薄膜性能和化学组成的影响; 利用 X 射线衍射仪(XRD ) 、维氏硬度计、多功能摩 擦磨损试验机和电化学腐蚀试验装置表征了薄膜试样的相组成、显微硬度、摩擦磨损性能和抗腐蚀性能. 结果表明, 注 入脉冲宽度和工作气体压力对薄膜性能及其组成具有显著影响; GC r 15 钢经改性处理后抗磨性能和抗腐蚀性能显著 改善. 这是由于基体表面形成了硬质且致密的 T iC 薄膜改性层所致. 关键词: 轴承钢; 等离子体浸没离子注入与沉积; 碳化钛薄膜; 摩擦磨损性能 中图分类号: T G 172. 44; TH 117. 3 文献标识码: A 文章编号: (2004) 　　碳化钛( ) 具有硬度和熔点高、抗磨和抗腐蚀 料切割成 12 ×3 的试盘, 表面研磨至 a ≤ T iC mm mm R 性能优良、低摩擦、导热性优良、化学稳定性优异等性 0. 04 m , 然后在丙酮中超声清洗 20 m in 待用. 在 自 能特点, 在机械、摩擦学及半导体领域得到了越来越 制的多功能等离子体浸没离子注入装置上进行离子 [ 1～ 3 ] [ 16 ] ( ) 广泛 的应用 . 研究表 明, 采用低温脉冲激光沉 注入处理 . 该装置配备射频 R F 辉光放电、热灯丝 [4 ] [ 5 ] [ 6 ] 点燃真空气体放电和阴极弧金属等离子体等多种等 积 、化学气相沉积 、离子束辅助沉积 、离子注入 等[7, 8 ] 技术在轴承钢基体表面形成 T iC 薄膜, 可以显 离子体源, 可连续进行金属和不同气体等离子体浸没 ( ) 著提高其表面硬度及耐磨性能. 遗憾的是, 采用上述 离子注入处理. 以钛棒 99. 99% 作为阴极产生阴极 方法制备的T iC 薄膜与基体在结构和性能方面存在 真空弧, 以C2H 2 (99. 5% ) 作为工作气体. 薄膜制备工 较大差异, 故改性效果不理想. 近 10 多年来, 等离子 艺见表 1. M eP IIID 技术参数: 注入电压 25 kV , 本底 体浸没离子注入(P III) 技术因克服了束线离子