一种傅立叶变换红外光谱仪动镜扫描系统的设计 - 红外技术.pdf

第34 卷 第1期 红 外 技 术 Vol.34 No.1 2012 年1 月 Infrared Technology Jan. 2012 一种傅立叶变换红外光谱仪动镜扫描系统的设计 李 胜，张玉钧，高闽光，徐 亮，童晶晶，金 岭 （中国科学院安徽光学精密机械研究所，环境光学与技术重点实验室，合肥 230031 ） 摘要：针对一种倾斜补偿摆动式干涉仪，利用旋转式音圈电机作为驱动单元，设计了扫描控制反馈系 统，建立了控制系统的数学模型，分析了系统的性能参数，并将PID控制应用于系统的反馈控制设计， 提高了系统的稳态性能和动态性能。结果表明，在波数为8000 cm－1 时对应干涉图频率的相对误差达 到了0.67% ，在实际应用中表现出良好的稳定性和可靠性，能够满足大气环境监测对傅立叶变换红外 光谱仪的需要。 关键词：傅立叶变换红外；干涉仪；动镜；扫描系统；反馈控制；PID 中图分类号：TN216 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2012)01-0048-05 Design of the Moving Mirror Scanning System for a FT-IR Spectrometer LI Sheng ，ZHANG Yu-jun ，GAO Min-guang，XU Liang ，TONG Jing-jing ，JIN Ling (Key Lab of Environment Optics Technology, Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Science, Hefei 230031, China) Abstract ：The feedback control system and model of moving mirror scanning system to a tilt compensated rotated Michelson interferometer for Fourier transform infrared (FT-IR) spectrometer are presented in this paper, with a rotary voice coil motor driver. The system performance is analyzed and a PID controller is added to the control system to improve the static and dynamic performance. The experiments have shown －1 that the relative frequency error is 0.67% at wavenumber of 8000 cm . This system has shown a good stability and reliability in practical application, and can be used in the FT-IR spectrometer for atmosphere monitoring. Key words ：Fourier transform infrared ，spectrometer，moving mirror ，scanning system，feedback control， PID 的光程差，动镜扫描系统是光谱仪的一个重要组成部 引言