气浮式隔振技术.pdfVIP

Solutions for the Measuring Environment Onyx Series 台式隔振系统 高性能低轮廓 产品特点 性能 纯黑表面和高硬度处理,市面上最好最 超过6.5Hz 的震动减少90% 具风格的被动隔振系统 超过20Hz的震动减少 99%  使用气动隔振系统隔离震动 低固有共振  使用清洁干燥的空气去消除污染 低于1秒的稳定时间  无需特殊的硬件或工具去操作  低轮廓—2.3英寸  高硬度 应用  光学显微镜  精密的检测及控制  高灵敏度的实验设备  高精度测量仪器  轮廓测量  干涉测量 Solutions for the Measuring Environment Onyx Series 台式隔振系统 可选配件 隔振技术 三种规格的尺寸 负载调节器 手动泵操作 气源自动操作 集成的消声罩 可按要求增加负载能力 各种型号 型号 尺寸 系统重量 载重能力 (英寸) (磅) (磅) Onyx - 6 16”x 17”x 2.3” 47 lbs 150 lbs Onyx - 7 20”x 24”x 2.3” 77 lbs 150 lbs Onyx - 8 32”x 24”x 2.3” 110 lbs 200 lbs 技术规格 固有频率 1.9 - 2.6 Hz 传输率 超过6.5Hz的震动减少 90% 超过20 Hz的震动减少 99% 供气要求 ONYX-M：手动泵 ONYX-A：持续压缩空气75 psi 5 kg/cm 2 水平位置: 约30-40 μm/N 配件 Onyx-M: 手动泵和空气阀 Onyx-A: 自动水平调节传感器,空气过滤器 和调节器