感应耦合等离子体的1维流体力学模拟.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! ! #$%! ’$! ! ! ! 年 月 ! ())* ! +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 ;=())* ! ! 文章编号! # !))!?@((())*)!)!AA)A ! 感应耦合等离子体的 维流体力学模拟 ! 王 帅! 毛 明! 王友年 ! ! ! ! 大连理工大学物理系三束材料改性国家重点实验室!辽宁大连 # !!*)(? 摘 要! 采用双极扩散近似的流体力学模型!通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体 #中 ,8. !! ! ! 等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布!其中射频源的功率沉积由动力学理论给出$分析了不同的射 频线圈的驱动电流和放电气压对等离子体密度和电子温度空间分布的影响$在低气压下!等离子体密度基本 上保持空间均匀分布$随着放电压强的增加!等离子体密度的分布呈现出明显的空间不均匀性$当线圈电流 增大时!等离子体密度和电子温度都随着增大$ 关键词! 感应耦合等离子体% 流体力学% 等离子体密度% 电子温度 !! ! ! ! ! 中图分类号! /A@! 文献标识码! 4 !! ! !!!! ! 射频感应耦合等离子体 #源由于具有等离子体密度高工作气压低以及由外界参量控制和装置结构 ,8. !! ’ ( 简单等优点!已在等离子体辅助加工领域!@ 中得到广泛应用$特别是对于半导体芯片刻蚀工艺!利用这种等 离子体可以得到很高的刻蚀速率和很好的定向刻蚀$在等离子体辅助加工过程中!工艺的质量在很大程度上 取决于等离子体与工件的相互作用过程!而这些过程又和放电装置中的一些物理量!如等离子体密度电子温 度射频电源的能量沉积等密切相关$因此自从开展 研究以来!其放电的各种参量的变化规律一直是人 ,8. 们关注的重点$通过建立适当的理论模型来模拟 ,8.的放电过程和物理参量的特性!是一种行之有效的手 段!对改进和优化 源的设计与工艺过程有着重要的指导作用$ 世纪 年代以来!许多作者采用不同的 ,8. () ) ’ (