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2017-08-14 发布于湖北
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材料分析4-XPS黑白.pdf

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材料分析4-XPS黑白

第四章 X射线光电子谱 X-ray Photo-electronic Spectroscopy (XPS) 本章内容一、XPS概述二、 XPS基本原理三、XPS谱图结构四、化学位移五、 XPS定量分析六、 XPS分析应用一概述 1. XPS的特点优点：各元素的灵敏度差异小(≤10倍) ，便于比较。干扰少(相邻元素光电子峰能量差别大) 。如: C 1s=285eV N 1s =400eV 表面灵敏度高。原因：X-射线不能聚焦取样面积大；光电子能量小，平均自由程短，信息深度≤10层原子。可获得化学状态信息和元素分布图像破坏性最小(软X射线,未聚焦,单位面积X光子数少) 。缺点： X-射线不能聚焦，分析面积大，因而空间分辨率低。深度剖析时，刻蚀和测量只能交替进行。 2. XPS分析器 XPS仪器外观电子能量分析器 XPS仪器内部几何机构 XPS能谱图射出子电光生线产射理子 X 原电射入本光基线射、 X- 二 1 X光电子的产生及电离原子的去激发 ’ hν=E - E k L 俄歇电子 K 线α 入射X-射线荧X - 光射 ③ X-射线光电子 O N E’k