倒装焊陶瓷封装失效模式分析及失效机理研究 study of failure mode and failure mechanisms on flip-chip ceramic packaging.pdfVIP

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倒装焊陶瓷封装失效模式分析及失效机理研究 study of failure mode and failure mechanisms on flip-chip ceramic packaging

第10卷,第8期 电子与封装 总第88期 V01.10.NO.8 2010年8月 ELECTRONICS&PACKAGrNG 封 装.。 组 装 与 涓 试 倒装焊陶瓷封装失效模式分析及失效机理研究 任春岭,高娜燕,丁荣峥 (无锡中微高科电子有限公司,江苏无锡214035) 摘要:随着封装技术的发展,倒装焊技术得到广泛的应用,倒装焊的研究也越来越广泛深入。文 章阐述了倒装焊封装的失效模式,主要有焊,最疲劳失效、填充胶分层开裂失效,电迁移失效、腐 蚀失效、机械应力失效等。并分析了陶瓷基板倒装焊温度循环试验后的失效模式,陶瓷倒装焊封 装失效的机理主要是倒装芯片焊点与UBM界面金属间化合物应力开裂失效。根据失效机理分析, 500次循环、3只样品无失效的要求。 关键词:倒装焊;陶瓷封装;UBM;焊点疲劳失效;失效机理 中图分类号:TN305.94文献标识码:A 文章编号:1681-1070(2010)08—0005.05 ofFailureModeandFailureMechanismson Ceramic Study Ffip—Chip Packaging REN Chun—ling,GAONa-yan,DINGRong—zheng (WuxiZhongweiHigh—techElectronicsCo.,Ltd.,Wuxi214035,Ch/na) Abstract:Withthe ofElectrical becomesmoreand technology developmentpackagingtechnology,Flip-chip more and ofthe was the popularnowadays.ResearchapplicationFlip—chiptechnologyappeared.Inpaper, failuremodeandfailuremechanismswerediscussed.Thefailuremodecontent failure,underfill bumpfatigue SOon.Failuremechanisms of delamination,electromigration,corrupt,machinestress,and oftemperaturecycles ceramic we[ediscussed.Thefailuremechanismsofceramic were interface flip-chip packaging packagingmainly intermetallicstresscrack andUBM.Then the satisfiedthe compound ofbump optimizedprocessofflipchip,it JESD22-A104Cstandardwith一65。C一+150℃.500nOfailureofthree cycles sa

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