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低表面能膜-Cr-flon.PDF

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低表面能膜-Cr-flon

-Cr-flon -Cr-flon Cr-flon Cr-flon 1 IC 數降 率 數降 率 不易 不易 離易 離易 IC力裂 IC力裂 2 降 降 行 行 料 料 理 理 料 料 sol-gel() sol-gel() PVD(理 ) PVD(理 ) PECVD( ) PECVD( ) ion implantation(離) ion implantation(離) corona discharge(暈 ) corona discharge(暈 ) 3 PVD Cr-flon PVD Cr-flon 度 度 理 理 力 力 不 料 Figs . From www. of VP Scientific, Inc 4 料 PTFE Teflon material PVD Cr-flon coating Cr-flon Cr-flon PVD理度300 PVD理度300 理精 理精 Cr N O C Cr N O C 度 度 度 3~5 m 度 3~5 m 110度Hv1200 110度Hv1200 5 Cr-flon Cr-flon 留 留 易識利理 易識利理 離 離 利易 利易 度 度 不理 不理 SKH51 EP Hard Vacuum PCVD- PVD- PVD-DLC PVD-CrC Ion Cr-flon Cr Nitriding TiN TiBN Implanted Ti,C 6

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