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低表面能膜-Cr-flon
-Cr-flon
-Cr-flon
Cr-flon
Cr-flon
1
IC
數降 率
數降 率
不易
不易
離易
離易
IC力裂
IC力裂
2
降
降
行
行
料
料
理
理
料
料
sol-gel()
sol-gel()
PVD(理 )
PVD(理 )
PECVD( )
PECVD( )
ion implantation(離)
ion implantation(離)
corona discharge(暈 )
corona discharge(暈 )
3
PVD Cr-flon
PVD Cr-flon
度
度
理
理
力
力
不 料
Figs . From www. of VP Scientific, Inc
4
料
PTFE
Teflon material
PVD
Cr-flon coating
Cr-flon
Cr-flon
PVD理度300
PVD理度300
理精
理精
Cr N O C
Cr N O C
度
度
度 3~5 m
度 3~5 m
110度Hv1200
110度Hv1200
5
Cr-flon
Cr-flon
留
留
易識利理
易識利理
離
離
利易
利易
度
度
不理
不理
SKH51 EP Hard Vacuum PCVD- PVD- PVD-DLC PVD-CrC Ion Cr-flon
Cr Nitriding TiN TiBN Implanted
Ti,C
6
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