SooPAT用于改进CVD膜性能的边流面板.PDFVIP

SooPAT 用于改进CVD膜性能的边流面板 申请号：200480040349.2 申请日：2004-12-14 申请(专利权)人应用材料有限公司 地址 美国加利福尼亚州 发明(设计)人M・赵 L・崔 J・C・罗查-阿尔瓦雷斯 T・K・丘 主分类号 H01L21/00(2006.01)I 分类号 H01L21/00(2006.01)I C23C16/455(2006.01)I 公开(公告)号1902732 公开(公告)日2007-01-24 专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 赵蓉民 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利