复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响-JournalofNortheastern.PDF

第’* 卷第# 期 东 北 大 学 学 报 （ 自 然 科 学 版 ） 7% *# ’* ，,%# # ! # 年 # 月 $%’()* %+ ,%’-./)0-/’( 1(23/’02-4（,)-’)* 562/(6/ ） 86-# ! # + 9%2 ：# # ’)): ; # 200(# #$ % ’! # ! # # # # #$ 复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响 # # # ! 王晓冬 ，张+ 磊 ，巴德纯 ，陶继忠 （#, 东北大学 机械工程与自动化学院，辽宁沈阳+ ##-#) ；!, 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川 绵阳+ !#) ） 摘+ + + 要：建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型# 依据该理论模型，在牵引级不同螺旋升角、 转子% 定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下，对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究# 结果 表明：压缩比随螺旋槽深的减小，先增加后减小，存在最优螺旋槽深，使牵引级的压缩比达到最大；螺旋升角对 最优螺旋槽深影响较小；最优螺旋槽深随转子% 定子间隙减小而减小，随转子转速的增加而增加；当被抽气体 为黏滞流时，最优槽深值更小# 关+ 键+ 词：复合分子泵；牵引级；理论模型；压缩比；最优槽深 中图分类号：= *$!+ + + 文献标志码：+ + + 文章编号：#$ % ’!（!# ）# % #(’* % ( !#$% ’()*+, -*.# /#(%0 12(345 6,#$3,+* 732( ’8 /*+9 ’%+9# 4 12(*#88)4 :+%) # # # ! !#$ %’()*(+, ，-.#$ /0 ，1 20)345+ ，6 7 8)94(+, （#, 56.%%* %+ ?/6.)(26)* @(A2(//’2(A B -%C)-2%( ，,%’-./)0-/’( 1(23/’02-4 ，5./(4)(A ##-#) ，D.2() ； !, E(0-2--/ %+ ?)6.2(/’4 ?)(+)6-’2(A /6.(%*%A4 ，D.2() 6)9/C4 %+ @(A2(//’2(A F.40260，?2)(4)(A !#) ， D.2()# D%’’/0G%(92(A )-.%’ ：H,I J2)%K9%(A ，@KC)2* ：L9M)(A. C)2*# (/# /9# 6( ） ;8%*+$% ： -./%’/-26)* C%9/* +%’ 9/06’2N2(A -./ GCG2(A G/’+%’C)(6/ %+ 6%CG%(9 C%*/6*)’ GCG ’0 9’)A 0-)A/ M)0 /0-)N*20./9# 66%’92(A -% -./ -./%’/-26)* C%9/* ，-./ ’/*)-2%(0.2G N/-M//( -./ 9/G-. %+ 9’)A 0-)A/ ’0 0G2’)* A’%%3/ )(9 6%CG’/002%( ’)-2% M)0 0-92/9 (9/’ 92++/’/(- 0G2’)* )(A*/0 ，’%-%’K0-)-%’ 6*/)’)(6/0 ，’%-%’ 0G//90 )(9 A)0 +*%M0# ./ ’/0*-0 0.%M/9 -.)- 6%CG’/002%( ’)-2% +2’0-*4 2(6’/)0/0 )(9 -./( 9/6’/)0/0 M2-. -./ 9/6’/)0/ %+ 0G2’)* A’%%3/ ’0 9/G-. # ./’/ /L20-0 -./ %G-2C)* A’%%3/ 9/G-. ，M.26. ’/0*- 2( -./ C)L2CC 6%CG’/002%( ’)-