双轴激光扫描系统基本原理.docVIP

双轴激光扫描系统的基本原理 一束激光被两片扫描振镜反射，并且通过一片聚焦镜。振镜片在一个galvo-扫描器马达的带动下高速的来回延轴旋转。在大多数情况下,最高偏转角镜是+12.5°(+10°往往是一个较安全范围)入射角不能偏于45°。 在设计双轴扫描器时，我们的目标是： 能够达到理想的扫描范围. 能够达到最高的速度. 能够达到最小的焦斑. 使得成本能够最低. 一些要考虑到的限制因素： 光束质量的因素Q (Q=M2). 扫描角度的限制因 素. 光束能量减少的因素. 扫描器通光口径的影响因素. 扫描器的扫描范围 光束的扫描范围较超过某个角度q，等于两倍的振镜反射角。因此，在X和Y两个方向上扫描的范围可能是q=±20°。（最大的扫描范围应该是q=±25°）。在X和Y轴上，实际的扫描面积应该是2Ftanq。 近似值发生的原因： 通常在镜片的设计中，会考虑到它的失真现象。所以对于q来说扫描的位置是对称的，而不是tanq。 在双轴上扫描时，会出现几何失真的现象，这个是与镜头的属性不相干的。 焦斑尺寸 焦斑尺寸下限d (1/e2 亮度直径) 相对于激光光束直径‘D’ (1/e2)是d = 13.5QF/D mm例如：一束TEM00(Q=1) 的直径是13.5mm(1/e2)用一个焦距100mm的理想聚焦镜片，焦距出来的点的直径是100mm（带入一个实际数值Q=1.5, 焦斑尺寸应该是150um