洁净室悬浮粒子测定和评价.docVIP

洁净室悬浮粒子的测定与评价 一、前 言 1、空气洁净技术的发展及应用 在第二次世界大战期间，美国生产的飞机导航用气浮陀罗仪，由于质量不稳定，每10个陀罗仪平均要返工120次。50年代初朝鲜半岛战争期间，美国的16万台电子通讯设备，更换了百万个以上的电子部件，雷达出故障的时间占84%，潜水艇声纳出故障的时间占48%。原因都是电子器件、零部件的可靠性差，质量不稳定。军方与厂商究其原因，最终从多方面判定与生产环境不清洁有关。尽管当时曾不惜工本，采取了种种严密措施来封闭生产车间，但收效甚微。直到50年代初，将美国原子能委员会为解决对人体有害的放射性尘埃的捕集问题，于1951年研制成功的高效空气过滤器（HEPA—High Efficiency Particulate AirFilter）应用于生产车间的送风过滤，才真正诞生了具有现代意义的洁净室。  我国在60年代初期对高效过滤器及层流洁净室研制成功，在1975年以后得到迅猛的发展，产品生产厂家及品种、数量逐步系列配套，一般洁净室所用的材料、配件、设备均实现国产化。  随着经济与科学技术的发展，空气洁净技术在各行各业的应用在加大，占据重要的地位。应用领域包括军事（飞机、军舰、导弹、核武器）、工业部门（光学、机械、化工、宇航、半导体、电子）和其他行业（医疗、制药、食品工程、生物工程、动物饲养）。 2、洁净室按用途分类 （1）