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涂层技术的创新--用PVD工艺涂覆Al2O3涂层 2011/3/18/9:4来源：机械专家网 HYPERLINK /慧聪表面处理网：自2005年在EMO展览会上宣布在采用PVD工艺涂覆Al2O3涂层方面取得突破以来，荷兰Hauzer公司已经和世界主要工具制造商在该涂层的性能测试方面进行了一系列HYPERLINK /cgi-bin/seinterface.cgi?word=合作合作。测试结果证实了早先发表在杂志上的涂层成果：用PVD工艺涂覆的Al2O3涂层具有卓越的粘结性、稳定的化学性能、在温度高达1100℃时优异的抗HYPERLINK /cgi-bin/seinterface.cgi?word=氧化氧化能力、良好的抗月牙洼磨损能力和很高的韧性。 工艺过程说明 这种新的涂层系统采用了混合涂层技术来实现涂层的沉积。该技术将阴极电弧蒸发与HYPERLINK /电子管磁控溅射结合在同一工艺过程中。电弧蒸发沉积的TiAlN涂层在涂层系统中起到粘结层的作用，并（或）为涂层系统提供所需的抗磨损能力；Al2O3涂层则为系统提供高温稳定性和化学稳定性。 在一个典型的混合涂层系统中，安装了几个电弧和磁控电子管溅射阴极。在进行沉积之前，将工件加热到工作温度，系统压力降至基压。工件经过氩气等离子清洗或金属离子浸蚀处理后，进行等离子电弧沉积涂层，并在该涂层之上用PVD法通过置于氩－氧混合气体中的金属靶溅射