多应力结构cmos器件的模拟研究 simulation research on cmos device with multiple stressors.pdfVIP

下载本文档

5
0
约1.39万字
约 4页
2017-08-13 发布于上海
举报
版权申诉

多应力结构cmos器件的模拟研究 simulation research on cmos device with multiple stressors.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

多应力结构cmos器件的模拟研究 simulation research on cmos device with multiple stressors

器件制造与应国 ^|衄幽n耐雌柚d 多应力结构CMOS器件的模拟研究施昊，周东，张庆东，顾晓峰 (江南大学信息工程学院，江苏无锡，214122) 摘要：使用TCAD仿真工具Sentanms在45nm节点工艺下模拟研究了包含多应力结构的应变 SiCMOS器件。模拟所得的开关电流比与相同节点工艺下报道的实验结果能很好吻合，验证了所用模型及方法的正确性。用Sentaums工艺模拟工具得到了器件内部的应力和掺杂分布，并用 se吣帆B器件模拟工具分析了各种应力结构对电学特性的影响。结果表明：在∞LMOS中，SMT和 S／D和DSL的存在是性 DSL能有效提高器件性能，而STI却会降低器件性能；在pMOS中，SiGe 能改善的主要原因。而STI对性能改善的帮助较小。关键词：多应力结构；应变硅；互补金属氧化物半导体；模拟中图分类号：TN432文献标识码：A SimulationResearchonCMOSDevice耐th Stressors Multiple ShiHao，Zhou Dong，ZhangQingdong，GuXiaofeng (SchoolofInformationTechnology，矗哪弘饥Vn／删,s／：y，Wux／214122，Ch／aa) with stressorswag TCADsimulationtoolSentaunmat Abstract：CMOSdevicemultiple studied戚I唱the 45nm node．Theon／offcurrentratioobtainedsimulationshows process by thecorrectnessofthesimulationmodelandmethodused．Thest船and experimentresults．verifying doping in Sentaurus theeffectsofvariousstressors0nthe distributionsthedevicewereobtained by process，and thatstressesinducedSMTand electrical were Sentaurasdevice．Resultsindicate investigatedby by properties DSLcan theelectrical ofthestrainednMOS STI thedevice improve properties effectively，whiledegrades SiGeS／DandDSLCan the of theotherhand．s1[re8瞄induced performance．On by improveperformance thestresscausedSTIshowssm