日立H—800型电子显微镜真空系统简介.pdfVIP

第l0卷第 8期 Vo1．10 3 199] 9 目 SeD．1991 日立H一800型 电子显微镜真 空系统简介 张晓凯 (山东师范大学理亿分析测试 中·) 电子显微镜 (TEM)真空系统的真空度要求在6．67×10 Pa以上 。为了改 善真 空性 ’ 魏 ，H一800型电子显微镜首先将不锈钢衬管插入 电子束通道，以减小抽气体积 ，而 将 其它 部件 置于真空之外后．又减少了放气源 。另外，抒一8o0设置 了两个抽气系统 ．分别使用了三 台抽速为1601~rain机械泵 (RP1，2．3)和两台抽速为570l／s的油扩散泵 所 以．该 真 空 系统的真空度可达 1．33×10’Pa或更高。 一 真空度的影响 电子显徽镜镜筒 内真空度过低时有可能出现的问题主要表现在如下几方面 ： 1．高速 电子与残余气体分子碰撞改变 电子的正常运动轨迹 ．并产生 电离和放 电，气体分 子对 电子的随机散射也会胯低成象反差； 2．导致炽热的阴极钨灯丝迅速氧化烧毁，降低钨灯丝的使用寿命： 3．会引起橱极与册极闻空气分子 电离．发生极问放 电 4．残余气体在样品周围会污染样品。 由上述几方面的影响因素 ，我们可 以看出 ，要想获得一张高质量 的电子显微 图像 ．镜筒 具备较高的真空度是不可忽视的必备条件之一。 = 真空管道阀门爱控制系统 [ H一800了1EM真空系统所使用的真空管遭 ．在低真空范围内使用的是真空橡胶管或塑料 管 ，例如，直接与机械泵连接的管道 ．在高真空范围内使用的是金属管，如与油扩散泵连接 舶管道 。 真空阀门有三类：LV泄气闻．MV电磁周．AV气动阁 真空系统中各种控制闯门的作 用如下 (见图 I所示 )： 1．泄气阀Ly— l，LV--2、Ly一9．它们的作用在于停泵时把机械泵抽气 口的一段管道 放入大气 ．使它的气压与排气 口的气压平衡，以免机械泵油反流． 2．电磁阀My—l，My一2．它们的作用是使油扩散泵DP—l、DP一2内长期保持真 空 状态 ．并且当打开此阎时，使RP—l、足P一2分别对各 自连接的油扩散泵进行抽 真空。MV 一 4 MV一5、My～8、My一3、MV--6、My一7是由机械泵RP一3分别对电子枪室、样 品 预抽室，镜筒、观察室 ，照相室和底片预抽室进行抽低真空时的电磁控制阀门。 3．气动阔AV--I、Ay一3，AVe4、Ay一2．它们的作用是 使 观 察 室．照 相 室，镜 蔚 、电子枪抽列低真空后，再由油扩散泵DP—l DP一2抽到高真空。 4．泄气阀LV--4 LV--5、Ly一8．Ly一3、Ly一8、Ly一7分别为电子枪室．样品预 作者邮编25．001l 57 抽室、镜筒、观察室、照相室和底片预抽室的放气阀门 。 5一电子枪隔离阀GV．在更换灯丝时，使镜筒 内仍保持高真空状态 6·35mm相机室隔离阀．软片相机室隔离 阉CV．这两种照相装置进行装换底片时 ， 由 于 隔离阗的作用使镜甜保持真空状态 接主控阀门 接主控阎门 图 l H一8O0 ’EM真 空系统 三 真空系统工作原理 由机械泵刚，一 3先蒋