高产能晶体硅太阳能电池制绒设备及工艺研究 research of equipment by cells high productivity and technology for crystalline silicon.pdfVIP

—团口 光伏制造堂与设塑备鱼 高产能晶体硅太阳能电池制绒 设备及工艺研究 毛朝斌，李 克，李健志，林伯奇，陈特超 (中国电子科技集 团公司第四十八研 究所 国家光伏 装备工程技术研究中心，湖南 长沙，410111) 摘 要 ：制绒3-．艺作为 晶体硅太阳能电池生产 的重要环节．电池厂商在要求保证工艺质量的前 提下，希望能扩大单 台设备的产能。介绍 了一种用于太阳能电池制绒设备及该系统 中关键部件制 绒槽和移载机械手。该系统结构简单，控制效果 良好 ，通过对工艺的研究该系统能满足 100MW 生产线的生产要 求 关键词 ：制绒设备；晶体硅太 阳能电池 ；高产能 中图分类号 ：TN305 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004．4507(2012)09—0011—04 ResearchofEquipmentbyCellsHighProductivityand TechnologyforCrystallineSilicon M AO Zhaobin，LIKe，LIJianzhi，CHEN Techao，LIN Boqi (The48thResearchInstituteofCETC，Changsha410111，China) Abstract：Thesystem oftexturing asa crystalsilicon cellsproduction ofan importantlink，the crystallinesiliconcellsmanufacutrerhopetobeabletoenlargethecapacityofsingleequipmentinthe guaranteeprocessqualiyt．Thesystem oftexturingequipmenthasbeenintroducedinthispaper，which iSused forsolarcelltexutringprocess．Thetexutringtank andmechanicalariD_ hasbeen introduced emphasisin thispaper．Thissystem issimple in structureand good controlresult．Itcan satisfy productionrequirementsofrtheIOOWM productiviyt． Keywords：TexturingEquipment；CrystallineSiliconCells；HighProductivity 随着晶体硅太阳能电池产业的快速发展，竞争 方面要提高单台设备的产能，实现节本增 ”。硅片 也越来越激烈，利润越来越薄，太阳能电池生产厂 表面制绒作为晶体硅太 阳能电池生产 的首道工 商一方面要提高太阳能电池的光 电转换效率，另一 序 ，首当其冲，它的产量直接影响整条生产线的产 收稿 日期 ：2012．08．22 团■匝咽 (总第212期)( 万方数据 光伏制造与设备 电 子 工 业 董 用 设 善 - 能。中国电子科技集 团公司第 四十八研究所研制 学反应如下： 了一种能满足 100Mw 生产线的新型晶体硅制绒 4HNO3+Si_÷SiO2+4NO2+2H2O (2) 设备 。这种新型晶体硅制绒设备可 以进行单晶 ／ SiO2+4HF SiF4+2H20 (3) 多晶兼容，很好地解决了客户的产能问题，工艺生