如何改善制程气体品质 - Teesing.PDFVIP

如何改善製程氣體品質 總體擁有成本最低的解決方案 如何降低超高潔淨氣體的總體擁有成本(TCO) 氣體成本降低並使一致性及彈性最大化 超高潔淨氣體 (內含微量其它氣體) 通常用於高科技產業如化學 針對大宗使用的客戶，在終端使用的淨化階段、或在許 分析、製藥業、石化業、半導體業、儀器測量及航太業等等。使用 多大宗氣體淨化系統的自動再生時，若使用自動或手動 潔淨氣體通常能改善良率、均質性或改善成品的品質。Teesing提 旁通集成管線，其雜質及停機的風險可降到最低。為避 供氣體輸送系統並包括氣體淨化設備，能將低品質氣體轉化為 免雜質在您的製程中產生風險，我們建議使用UHP管 UHP品質。 件、閥門、壓力調節器、配件及其他設備，我們也提供即 插即用的組合套件。除了潔淨氣體，您可能還需要考慮 在實驗室或無塵室中，您將能藉由換裝低等級氣瓶並安裝即時 高效率及可靠的氣體過濾，以及能保證雜質移除率大於 氣體淨化器而節省成本。許多實驗室正在將UHP氣瓶改換為較 99.999999% 且雜質顆粒小到0.003μm的裝置。 低等級(5.0)的氣瓶同時搭配氣體淨化器來使用。 TEL +31 70 413 07 50 | WWW.TEESING.COM Application Gas Units: Maximum Flow ipm, cfm, cfh, m3/hr, ccm Units: Average Flow ipm, cfm, cfh, m3/hr, ccm Units: Pressure ipm, cfm, cfh, m3/hr, ccm Duty Cycle Days/Week Hours/Day Pressure Inlet Impurities Outlet Impurities (before Purifier) (After Purifier) H2O ppm ppb O2 ppm ppb CO