.传感器8_微电子机械系统.ppt

传感器技术及应用机械09 2011～2012第二学期 2012年4月 14.2 微电子机械系统（MEMS) 技术及MEMS传感器 MEMS传感器是采用微电子技术和微机械加工技术制造出来的新型传感器，属微电子机械系统MEMS 微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是指运用微制造技术在一块普通的硅片基体上制造出集机械零件、传感器执行元件及电子元件于一体的系统。 一、为什么采取微型化 尺寸变小后 强度变大：大象与蚂蚁比较，躯体尺寸虽然只差1000倍,足部粗細却相差30000倍有余 性能加强：尺寸缩小可提高固有频率，增大感知的频率范围 成本低廉 二、微机电系统的制造技术 以半导体制作技术为基础的光刻掩膜技术 LGIA技术（x光深刻模造法） （一）光刻掩膜技术 例1：悬臂梁式微加速度传感器 1、结构 悬臂梁－弹性元件 敏感质量 2、性能指标: 加速度范围: ±50g 固有频率: 1000Hz 尺寸: 小于 2×2 Cm2 3、微机械结构的制作过程 Step.1.在基底上涂上一层SiO2作为牺牲层，厚度为2.75μm Step.3 使用掩膜形成阻光层形状 Step.4. 对SiO2进行蚀刻，蚀刻气体为CF4/H2. Step.6 沉积硅 Step.8..使用掩膜形成所要的阻光层形状 Step.9. 对硅进行蚀刻，蚀刻气体为CF4 (or SF6). Step.10. 用丙酮去除阻光层 （二）LIGA技术简介 LIGA是德语Lithographie微影, Galvanoformung电铸, Abformung模造的首字母缩写词， LIGA技术有三种主要工艺：x光深层光刻工艺、微电铸工艺、微复制工艺 该技术使用x射线对在掩膜层下的厚阻光层PMMA （聚甲基丙烯酸甲酯）进行曝光，将曝光的区域用化学溶剂溶解掉， 随后进行微电铸出可获得各种金属微结构器件。 特点：可制作高深宽比微结构。高度达数百微米，横向0.2微米，可制作非硅材料微结构：金属、塑料、陶瓷 LIGA基本流程 光刻、显影 电铸 微复制 翻模 二次电铸－复制 例：LIGA工艺的微型齿轮制作过程 三、应用实例： 1、MEMS加速度计 （1）技术成熟的MEMS加速度计分为三种:压电式、容感式、热感式。 （2）MEMS加速度计一般用在哪里 测量物理运动从而提供运动感知能力 ， 用于机器人姿态控制，了解它现在身处的环境。是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？。 归纳其应用主要有以下几个方面：振动检测、姿态控制、安防报警、消费应用、动作识别、状态记录等 MEMS被称为电子产品设计中的“明星” 汽车类产品 MEMS加速度计可以用来分析发动机的振动。汽车防撞气囊的启动也可以由MEMS加速度计控制。 消费类电子产品 　一些用于消费电子产品的最新三轴加速计特别小，非常适用于游戏、硬盘驱动保护和安全等应用。一些加速计具有快速启动、零加速度检测特性，可实现自由落体保护和自检功能。 压电式MEMS加速度计 运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。 只能检测动态信号 压电式MEMS加速传感器 电容式MEMS加速度计 内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。 可检测静态信号 电容式微加速度计之位移传感器 2、静电型梳状作动器Electrostatic Comb Actuators 下方梳狀结构与基材连接， 上方梳狀结构为悬浮与一微弹簧结构连接，可受静电力吸引而移动 梳尺长200微米寬20微米,齿间距5微米 结构高70微米 3、微作动器 及局部放大图 旋转马达 4、活动微齿轮结构 两个相互错开的直道用来限制气体流动的方向，齿轮的旋转靠直道送入的气体来驱动 采用微装配技术完成活动微结构的制作 活动微齿轮： 高230mm 半径200mm 轴半径：80mm 间隙：10mm 该齿轮在气流的作用下能够平稳的转动 其转速可以通过控制气流的大小来控制 5、微齿轮机构 6、MEMS光开关 光开关是一种可对光传输线路或集成光路中的光信号进行相互转换或逻辑操作的器件，广泛使用于光纤通信系统、光纤网络系统、光纤测量系统或仪器以及光纤传感系统和光学信息处理系统中，起开关切换作用，是目前MEMS领域的一个研究的热点。 利用微动微镜制作的光开关矩阵， 在2D结构中，所有微反射镜和输入输出光纤位于同一平面上，通过静电致动器使微镜直立和倒下或使微镜以“翘翘板”的方式来实现光路的导通和断开功能。 1×2，1×4，2×2的光开关 光开关 光开关 7、Bio-