点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析-中国光学.PDFVIP

第苑卷摇 第缘期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援苑摇 晕燥援缘 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员源年员园月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 韵糟贼援圆园员源 文章编号摇 圆园怨缘鄄员缘猿员渊圆园员源冤园缘鄄园愿缘缘鄄园愿 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 员袁圆 员鄢 员 代晓珂 袁金春水 袁于摇 杰 渊员援 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室袁吉林长春员猿园园猿猿曰 圆援 中国科学院大学袁北京 员园园园源怨冤 摘要院为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点袁同时又能实现大数值孔径渊晕粤冤光学系统的 检测袁设计了一种新型的波面参考源渊宰砸杂冤袁它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点袁可满足大晕粤极紫外光刻物镜 系统波像差检测的要求遥 本文在分析各种误差的基础上袁搭建了宰砸杂原理光路并对宰砸杂 的系统误差标定算法进行详 细的研究袁得到宰砸杂标定时旋转平台的角度公差为园郾缘毅袁跳径时偏离系数为园郾缘豫遥 这一新型宰砸杂误差分析及标定对 于实现高精度的检测具有十分重要的意义袁最终为实现宰砸杂系统误差标定提供理论基础遥 关摇 键摇 词院光学检测曰点衍射干涉仪曰波面参考源曰误差研究曰公差分析 中图分类号院韵源猿远援员摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员源园苑园缘援园愿缘缘 粤灶葬造赠泽蚤泽燥灶藻则则燥则葬灶凿贼燥造藻则葬灶糟藻枣燥则贼澡藻憎葬增藻枣则燥灶贼则藻枣藻则藻灶糟藻 泽燥怎则糟藻燥枣责燥蚤灶贼凿蚤枣枣则葬糟贼蚤燥灶蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼藻则 员袁圆 员鄢 员 阅粤陨载蚤葬燥鄄噪藻 袁允陨晕悦澡怎灶鄄泽澡怎蚤 袁再怎允蚤藻 渊员援杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣粤责责造蚤藻凿韵责贼蚤糟泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣韵责贼蚤糟泽袁 云蚤灶藻酝藻糟澡葬灶蚤糟泽葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬曰 圆援哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁月藻蚤躁蚤灶早 员园园园源怨袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院躁蚤灶糟泽岳泽噪造葬燥援葬糟援糟灶 粤遭泽贼则葬糟贼院栽燥噪藻藻责贼澡藻葬凿增葬灶贼葬早藻泽燥枣枣蚤遭藻则责燥蚤灶贼凿蚤枣枣则葬糟贼蚤燥灶蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼藻则憎澡蚤糟澡蚤泽藻葬泽赠贼燥葬造蚤早灶葬灶凿糟燥灶贼则燥造贼澡藻 凿蚤枣枣则葬糟贼藻凿造蚤早澡贼袁憎藻凿藻泽蚤早灶葬灶藻憎憎葬增藻枣则燥灶贼则藻枣藻则藻灶糟藻泽燥怎则糟藻渊宰砸杂冤援 宰砸杂糟葬灶噪藻藻责贼澡藻葬凿增葬灶贼葬早藻泽燥枣枣蚤遭藻则 责燥蚤灶贼凿蚤枣枣则葬糟贼蚤燥灶蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼藻则葬灶凿责蚤灶鄄澡燥造藻责燥蚤灶贼凿蚤枣枣则葬糟贼蚤燥灶蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼藻则袁葬灶凿蚤贼葬造泽燥糟葬灶遭藻怎泽藻凿贼燥贼藻泽贼贼澡藻 憎葬增藻枣则燥灶贼葬遭藻则则葬贼蚤燥灶燥枣造葬则早藻则 晕粤 燥责贼蚤糟葬造泽赠泽贼藻皂枣燥则耘曾贼则藻皂藻哉造贼则葬增蚤燥造藻贼蕴蚤贼澡燥早则葬责澡赠渊耘哉灾蕴冤援 栽澡藻葬灶葬造赠泽蚤泽 燥枣 藻则则燥则枣燥则贼澡蚤泽灶藻憎宰砸杂葬灶凿糟葬造蚤遭则葬贼蚤燥灶燥枣贼澡藻泽赠泽贼藻皂藻则则燥则蚤泽增藻则赠蚤皂责燥则贼葬灶贼枣燥则则藻葬造蚤扎蚤灶早葬皂燥则藻葬糟糟怎则