球面像差检测之研究.PDFVIP

球面像差檢測之研究 指導老師：林宸生 學 生：林嘉毫、吳俊旻、何振維、韋子祈 賽德三階像差 所謂的賽德三階像差為 : 球面像差(Spherical Aberration) ，簡寫為S1 。 慧差 (Coma) ，簡寫為S2 。 像散 (Astigmatism) ，簡寫為S3 。 場曲 (Curvature of Field) ，簡寫為S4 。 畸變 (Distortion) ，簡寫為S5 。 3 5 三角函數之泰勒展開式 sinθ=θ- θ/3! + θ/5! -….. 逢甲大學自動控制工程學系 微影與光電研究室 - 2 - 球面像差 不同高度之平行光線入射時，並不能真正匯集於一點，此方面 之差異量，稱為球面像差。 焦散 （caustic ） LSF 最小包圍圈 透鏡當不同高度之平行光線入 厚透鏡成像透鏡當平行光線入 射而匯集於一點時 射時事實上並未匯集於一點 逢甲大學自動控制工程學系 微影與光電研究室 - 3 - 傳統球面像差量測 1. 手動屏幕位移慢 2.目視確認成像不準確 傳統球面像差量測 逢甲大學自動控制工程學系 微影與光電研究室 - 4 - 球差(Spherical Aberration)像差之自動初步 分析 逢甲大學自動控制工程學系 微影與光電研究室 實驗架構 實驗結果與討論 - 5 - 球面像差量測架構 逢甲大學自動控制工程學系 微影與光電研究室 - 6 - 球面像差量測 e t a n i d r o o c f o n o i t i s o P Displacement of Slider 光軸對準實驗圖形(a)及其曲線(b) 逢甲大學自動控制工程學系 微影與光電研究室 - 7 - 球面像差量測 (a) (b) (c) (d)