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精密温控晶体生长系统可行性报告-盐城工学院机械工程学院
盐城工学院
大型精密仪器设备可行性论证报告
设备名称 精密温控晶体生长系统
项目负责人 周海/黄传锦
申报单位 机械工程学院
申报时间 2013-03-17
盐城工学院设备与实验室管理处制
填 表 说 明
一、本表是申报实验室建设项目的主要依据之一,申报单位必须认真填写,字迹工整,内容翔实。
二、凡属大型精密仪器设备购置的,均须填写此表,每个项目填表一份。
三、国产仪器设备和进口仪器设备均须填写国内外同类仪器设备型号,国内供应情况、国外仪器设备性能质量及校内同类仪器设备情况等。
四、申请理由论证,包括国内外同类产品质量、性能调研情况及该仪器设备在学科建设、教学实验及科学研究中的详细用途等。
五、如所购置仪器设备(包括软件)系原仪器设备附件、添置件、或扩大使用功能,请填写上原仪器设备使用机时、培养人数等情况。
六、本表一式二份,分别存设备与实验室管理处及所在部门。
设 备 名 称 精密温控晶体生长系统 型 号 规 格 数 量 1 (台/套) 国 别 中国 单 价
(≥20万元) 人民币 15.2 生产厂
供应厂商 盐城鹏悦电子材料有限公司
李先生 美 元 主要技术指标、特点及用途 LJ-B40??晶体生长系统????
?1.感应加热电源:???25KW/2.5KHz
?2.最高熔炼温度:????2100℃?
?3.冷炉极限真空度:???6.67x10-3?Pa?
?4.充气压力:???0.08?MPa?
?5.炉膛直径:?????¢400mm????
?6.炉膛高度:???1000mm??
?7.籽晶杆拉速:?0.5~60mm/h?
?9.籽晶杆转速:????1~50rpm?
10.籽晶杆炉内引程:??? 600mm??
11.冷却水压:????0.15~0.2MPa??
12.主机高度:?????2600mm???? 国内外同类
仪器设备 型号规格 生产厂家
供应厂商 性能、指标 单价(人民币/美元) LJ-B40 西安蓝晶机械科技有限公司 联系人:杨先生手机与上面一致 22 SKJ-50 沈阳科晶自动化设备有限公司 联系人:曲先生手机与上面一致 28 校内同类仪器
设备情况 无 一、购置该仪器设备的必要性
该系统能够实现满足蓝宝石、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等晶体的生长要求,是开展光电子光伏采用PLC控制,压力采用闭环反馈控制,等操作简单易行,工作可靠稳定。江苏省自然科学基金项目大功率LED衬底基片超精密加工机理及其应用技术研究江苏省高校自然科学基础研究项目,蓝宝石晶片纳米级超光滑加工技术研究
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