大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽棸 暋 椄 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶椄 暋暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 椄 暋 暋 暋 斄旛棶棽棸棻棽 旂 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棸椄灢棻椂椃椂灢棸椄 大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀 灣 棳 棳 棳 棳 棳 棳 棳 邱克强 周小为 刘 颖 徐向东 刘正坤 盛 斌 洪义麟 付绍军 暋 暋 棬 棳 棭 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室 安徽 合肥 棽棾棸棸棽椆 椇 暎 棳 摘要 总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展 针对自行研制的斔斱灢棿棸棸离子束刻蚀装置 提出了组合 棳 石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性 目前在 棿椀棸旐旐尺寸内的刻蚀深度均匀性最高 可达暲棻棩暎建立了针对多层介质膜光栅的衍射强度一维空间分布在线检测系统以及用于透射衍射光学元件离子束刻 棳 暍 棳 蚀深度的等厚干涉在线检测系统 实现了对大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀终点的定量 科学控制 提高了元件离子束 暎 棳 暍 暍 刻蚀工艺的成功率 利用上述技术 成功研制出一系列尺寸的多层介质膜光栅 光束采样光栅 色分离光栅以及同步辐 射光栅等多种衍射光学元件暎 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 衍射光学元件 离子束刻蚀 刻蚀深度 在线检测 多层介质膜光栅 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斚棿棾椂棶棻斣斘棾棸椀棶棽暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棸椄棶棻椂椃椂 斏旓旑斺斿斸旐斿旚斻旇旈旑 旓旀旍斸旘斿斸斿旘旚旛旘斿斾旈旀旀旘斸斻旚旈旜斿旓旚旈斻斸旍斿旍斿旐斿旑旚旙 旂 旂 旔 旔 灣 棳 棳 棳 棳 斞斏斦斔斿灢旈斸旑 斱斎斚斦斬旈斸旓灢旝斿旈斕斏斦斮旈旑 斬斦斬旈斸旑灢斾旓旑 旕 旂 旂 旂 旂 棳 棳 棳 斕斏斦斱旇斿旑灢旊旛旑 斢斎斉斘斍斅旈旑 斎斚斘斍斮旈灢旍旈旑 斊斦斢旇斸旓灢旛旑