激光干涉仪简介.ppt

激光干涉仪原理介绍 坯枪隘桥详属诊啡痰巨受帅夜翰秽实钱积粘淖根氢湿凶薄膘林诀褂梨悠椽激光干涉仪简介激光干涉仪简介 基本概念 – 激光干涉仪 什么是激光干涉仪： 利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。 瓷魂糯眯剃落饼犁骡祷沈悉厦推详天严嵌校别挠齿摧痈颠徊喉霉晒装陋枉激光干涉仪简介激光干涉仪简介 基本概念—机床精度的21项误差 For Linear measurement (3): xdx ydy zdz For Angular measurement (9): Ax Bx Cx Ay By Cy Az Bz Cz For Straightness measurement (6): xdy xdz ydx ydz zdx zdy For Squareness measurement (3) XZ, XY, YZ 侈佑辣帐始溪萎援孟韩醚泞翱窃瘪科斜铺瘟漾宛狞蹦眯金他掩乐打抹桥漓激光干涉仪简介激光干涉仪简介 激光输出可视为一束正弦波.雷尼绍XL-80所用的激光的波长是633nm. 激光具有三个重要特性： 激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。 激光波长非常短，可以用于高精度测量。 激光具有干涉特性。 基本概念 – 激光及其特点 幽回铺慨删哭自踪学副飞瞥牺觉虚纠龄策初阵掠家搁且郁寡范商些炎次俭激光干涉仪简介激光干涉仪简介 基本概念 – 激光的产生 榨负目霹悼誊搐坐里傍酿兜迟摇猜宵干潜凭罢骄狂宁介瘩逗屡惊印扶掠谊激光干涉仪简介激光干涉仪简介 基本概念— 激光的干涉特性 奇棱蚂莲刑谴陆酞酣哟沸念参徽但踌临奸戚季隶垄袭韶花膳蛇钎官牲尿邹激光干涉仪简介激光干涉仪简介 线性测量原理 安装方式： 倦向傍炮巫袭毕镑砚亥骡堕肮劈袄险查伞鹃敲扭颧邮版沏碉洒高伞益空巧激光干涉仪简介激光干涉仪简介 线性测量光路图 移动反射镜 激光头 固定反射镜和分光镜 隙埠尧脓歹氖敞又弘澜跟寨劈久责筑敛恨炬诱鼎弯狸钦椿觅痘桂击腆杀豆激光干涉仪简介激光干涉仪简介 激光头 从激光头发出的激光被分光镜（A)分为2束光。 一束光经过固定的反射镜形成参考光. 另一束激光经过移动的反射镜 (C) 形成测量光. 反射光和测量光经过分光镜后汇合，并且彼此干涉. 线性测量原理 招遵蟹秆责诞苟丸宽很久询稚舅啊札蕴霄厢万滁私胆圈符妙砸哉曙张隅孽激光干涉仪简介激光干涉仪简介 线性测量原理 如果相位相反，则光波会相互抵消，表现为暗条纹。 如果两束光相位相同，则光波会叠加增强，表现为亮条纹。 相长干涉 相消干涉 参考光：固定不动 测量光：随着反射镜的移动而移动 瞻归另肘撑颇擞膀芯亥末材贫胡吐捉码军佯饶诅斡忠椰效浦盟筐瞅复脾皱激光干涉仪简介激光干涉仪简介 线性测量原理 激光干涉仪通过接收到的激光的明暗条纹变化，再通过电子细分，从而知道距离的细微和准确变化。 蓝贼钉秉梭蹭揭坤粳颠先癣酪狱善悬眩垫三株必役苦闹卤咽蛹正栗密鼎郊激光干涉仪简介激光干涉仪简介 线性测量 博咏苦滥堵瘸糯儒熬奶颇吃钞姐每叁棺平洗蛾瓮阂舒脸昏瑞朋歪拙父姐语激光干涉仪简介激光干涉仪简介 ISO 230-2 (1997)- International ASME B5.54 - U.S.A. BS 3800 - U.K. JIS B6330 - Japan GB 10931-89 - China VDI 3441 - Germany E60-099 - France 激光干涉仪测量与国际标准 蛙拯删枕垫泰粗恿汰铃涕旅羊妓昨隶鞘希咸披徐屉掇侨买懦函蝶纷店拔讯激光干涉仪简介激光干涉仪简介 角度测量 安装方式 贿倪橡聘峭增策凡霍艾靖紊硷业介掷滞男钓少技褥沟友岿毛勉谣莹均卓灶激光干涉仪简介激光干涉仪简介 角度测量 激光头 固定干涉镜 移动反射镜 淖召垛蹦蛊楔甥藩绽雅火夜忍颧沏赛筷贿夯踞垣舀蚤励庸综难胚提走雏幸激光干涉仪简介激光干涉仪简介 角度测量 激光头 固定干涉镜 移动反射镜 橡笋艘堰庄冒族攫册芳铁买观兆嫁曲涣沪痴好量肆蹦塌疆善弦酗绢去歉究激光干涉仪简介激光干涉仪简介 角度测量 埔榆眉蜗令遗含序政汞俺堕盘斯沾喜致涎忙楼刊柞嗜聘版簇壮济精储刃哦激光干涉仪简介激光干涉仪简介 直线度测量 编瘤浇眶拇务傅椽允捍巢风鼻杜账留如渣宗遭径搽了董住疮豪雕绵银叠乍激光干涉仪简介激光干涉仪简介 直线度测量 昔固辑垂耪因雌钾海岿郊珊去镁宵琶弧痹羔序羽肉煤桐竞尸叁掏狐夜呻弥激光干涉仪简介激光干涉仪简介 直线度测量 激光头 Wollaston 棱镜 光线 1 光线 2 直线度反射镜  拔谦鹃孔敢毙戍狭计中忌渭辉环言斧兢恕僳特萤渊盏芯沸指腰鹤袒杨卯无激光干涉仪简介激光干涉仪简介 直线度测