基于adams和matlab的硅片搬运机器人联合仿真研究 research on coordinated simulation of wafer-handling robot based on adams and matlab.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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基于adams和matlab的硅片搬运机器人联合仿真研究 research on coordinated simulation of wafer-handling robot based on adams and matlab.pdf

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基于adams和matlab的硅片搬运机器人联合仿真研究 research on coordinated simulation of wafer-handling robot based on adams and matlab

Research伽CoordinatedSilIlulation0f Wmr-handling RobotB嬲edonADAMSandMatlab 吴静刘品宽 (上海交通大学机械与动力工程学院，上海 200240) 摘要：为提高硅片搬运机器人的设计效率，充分利用虚拟样机技术，搭建硅片搬运机器人的联合仿真系仿真结果表明，硅片搬运机器人具有较好的动态响应特性和良好的轨迹跟踪能力。关键词：硅片搬运机器人虚拟样机联合仿真机械系统动力学自动分析 Matlab DoI：10．3969／j．issn．1007—080x．2013．07。002 wasbuilt the of co—simulation Abstract：To designefhciencywafer-handlingrobot，a system bymaking impmve in full ofvirIual three·dimensionalmodeloftherobotwasbuiltSolidWorks use prototypetechnology．First，a software tobuilda themodelwas intothe simulationADAMS dynamic dynamic software，then imported muhi．body simulation．At ambotcontr01 wasesfablishedinMatlab／ modelofmbotforkinematicanddynamic last， system assembledwith modelinADAMS theinterfacemodular Simulation，andbeing dynamic through Thesimulationresultsdemonstratethatthe thecoordinatedsimulationsystem． Contr01)tocomplete andfine robothas characteristics preferabledynamicresponse trajector)，-trackingability． ADAMSMatlab robotvirtual coordinatedsimulation Keywords：wafbr—handlingprototype 0 引言险，并且缩短研发周期¨~3]。在机械系统的设计阶硅片搬运机器人作为集束型设备的关键组成，其性能关系到半导体生产过程的效率与质量。为了满 Matlab。利用这3个软件，可以建立一个强大的联合足生产效率提升的诉求，现在的硅片搬运机器人的功仿真系统，集成各类软件的优势，既能够对机器人的能越来越强大，机器人的构型越来越多，结构也日趋运动学和动力