基于dbr的半导体晶圆制造生产调度研究 research of dbr scheduling method for semiconductor manufacturing.pdfVIP

基于DBR的半导体晶圆制造生产调度研究冰 ofDBR Methodfor ResearchScheduling Semiconductor 丁小进 乔 非 李 莉 (同济大学CIMS中心，上海201804) 为模型，使用EM—PLANT软件进行仿真，验证了方案的可行性。 关键词：约束理论瓶颈重人流瓶颈识别分层DBR bu归fer was dimcultiesint}le environmentwithre—en— Abstract：DBR(dmmrope)t}leorybrienypresented，t圭le production trantnowwasalso new methodnameddi归ferent DBR for enViron— expounded．Ascheduling layers schedulingsingleproduct mentis foⅢ删．Thenewmethod to well emluatorHP24module． pmves byEm—plaIlt put perfbHn using nows identification DBR of bottlere—entrantbotdeneck di归ferent Keywords：TOC(theoryeonstraints) layers O引言 ——提升系统瓶颈的能力： 半导体晶圆制造生产线的结构复杂，设备多且加工特性各 ——如果前面步骤中约束打破．则返回至第1步。 异，具有严重的重人性，这些特点给半导体晶圆制造生产线的 调度带来了很大的困难；在制品品种和数量众多，以及制造环 型形式，主要是实现TOC的前3步。它把主生产计划比喻成 境的高度不确定，也增加了调度的难度。半导体制造过程的调 “鼓”(drum)，根据瓶颈资源的可用能力来确定企业的最大物 度研究是调度领域的研究热点和难点之一。 流量。作为指挥生产的节拍．在瓶颈前要保留物料储备“缓冲” 1 DBR理论 (b成r)，以保证充分利用瓶颈资源，实现最大的有效产出；按 of TOC(theoryconstmints)是以色列物理学家、企业管理顾同一节拍，“控制”(mpe)其他生产设备在制品流量，以保持在 问EUYAHUM GOLDRATT在他开创的0PT(optimized均衡的物料流动条件下进行生产【21。 2国内外研究现状 productiontechnology)基础上发展起来的管理哲理，该理论提 出了在制造业生产经营活动中定义和消除制约因素的一些规 范化方法，以支持生产经营活动连续改进[1】。 理的研究，DBR与其他管理理论的比较或结合，DBR案例分 TOC的五大核心步骤： ——辨识系统的约束： 针对存在重人流的大型复杂生产环境的DBR理论研究已 ——拓展系统瓶颈的能力： 经存，但还不是很成熟。如郭永辉等人p1提出通过设置回流缓 ——使其他设备服从瓶颈设备的安排； 冲，在半导体晶圆厂进行DBR管理的方法．并给出了简单模型 作者简介：丁小进硕士研究生在读。研究方向为企业信息化、生产调度理论。发表论文l篇。 乔非 女，研究员，博士研究生导师。主要研究方向为系统工程、现代管理理论与方法、先进制造技术、CIM等。