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基于PSD的位置测量系统
科技情报开发与经济 年 第 卷 第 期
SCI-TECHINFORMATIONDEVELOPMENTECONOMY 2007 17 2
文章编号: ( ) 收稿日期:
1005-6033200702-0159-03 2006-08-11
基于PSD的位置测量系统
吴赛燕
(中北大学电子工程系,山西太原, )
030012
摘 要:介绍了PSD和基于PSD的位置测量系统的工作原理,探讨了基于PSD的位置
测量系统的硬件、软件和基本电路,并对系统误差进行了分析。
关键词:位置敏感探测器( );位置测量系统;信号处理电路
PSD
中图分类号: + 文献标识码:
TP274.5 A
属于新型光电器件,它的几何分辨率远远高于 并且
PSD CCD, PSD ④
还具有频谱响应宽、响应速度快、信号处理非常简单、便于与微机接口等
优点,在精密尺寸测量、三维空间位置、机器人定位系统、工业检测和监
控、高能物理实验等领域,具有独到之处和广泛的应用价值。 Y
L
位置敏感器件( )是用来探测光点位置变化的光敏器件,是系统
PSD
中的关键器件。它是利用离子注入技术制成的一种可确定光的能量中心 ① O X ②
位置特殊的光敏二极管,有一维和二维两种。当入射光是一个小光斑照
L
射到光敏面时,其输出则与光的能量中心位置有关。这种器件特点是它
对光斑的形状无严格要求,对光斑位置可连续测量。
1 PSD的工作原理 ③
图 二维 工作原理图
2 PSD
1.1 一维PSD工作原理
行的,其结构见图 。光源发出的光经发射透镜 聚焦投射到待测物体
3 L
图 为一维 的工作原理图,它的受光面为 ( 型硅),同时
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