第5章辐射信号检测六、莫尔条纹.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 光栅细分技术 根据光栅测量原理可知，以移过的莫尔条纹的数量来确定位移量，其分辨率为光栅栅距。 为了提高分辨率和测量比栅距更小的位移量，可采用细分技术。 细分技术能在不增加光栅刻线数及价格的情况下提高光栅的分辨力。 所谓细分，就是在莫尔条纹信号变化一个周期内，发出若干个脉冲，以减小脉冲当量，如一个周期内发出n个脉冲，即可使测量精度提高到n倍，而每个脉冲相当于原来栅距的1/n。 由于细分后计数脉冲频率提高到了n倍，因此也称之为n倍频。细分方法有机械细分和电子细分两类。 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 细分前 细分后 脉冲细分 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 在相差BH/4位置上安放四个光电元件来实现四倍频细分。 采用4细分技术后，计数脉冲的频率提高了4倍，相当于原光栅的分辨力提高了3倍，测量步距是原来的1/4，较大地提高了测量精度。 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 四倍频细分电路原理框图 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 数显表 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 3自由度光栅数显表 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 3自由度光栅数显表 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器 安装在夹 具的端部 第5章 辐射信号检测 六、莫尔条纹 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 第5章 辐射信号检测 三、白噪声中的 脉冲探测 2、滤波器带宽的选择 带宽对矩形脉冲形状和幅度的影响 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 1、长、宽尺寸信息的光电变换 投影放大法 投影测量法光路图 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 立式光路 卧式光路 投影仪光学系统示意图 1—光源 2—聚光镜 3—保护玻璃 4—待测物体 5—投影物镜 6—平面反射镜 7—投影屏 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 激光三角法 三角测量原理示意图---直射式结构 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 三角测量原理示意图---斜射式结构 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 激光三角法测量原理的另一种描述 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 光学灵敏杠杆法 万能工具显微镜接触瞄准系统—光学灵敏杠杆的工作原理图 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 a）找拐点法 b）测弦找中点法 光学灵敏杠杆测量孔径瞄准定位示意图 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 激光扫描法 激光扫描法原理图 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 根据计数器记录的工件挡光时间内的时间脉冲数，就可以求得工件的直径。激光扫描法的优点是：非接触测量、可测运动物体。缺点是量程受透镜尺寸的限制，且存在非线性的原理误差，需要校正或采用特殊设计的 透镜来补偿。 测量分辨率（直径测量的脉冲当量）为： 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 差动法（比较法） 双光路差动法测量物体长度 调整，放入标准尺寸工件，调整光楔，使微安表读数为零。 测量完，将位移信息变换可以通过PSD、光电池、光电法、光焦点法、像偏移法等方式来实现。 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 2、位移信息的光电变换 被测对象遮挡实现位移信息的光电变换 被测对象遮挡测量原理框图 b 可应用于产品的光电计数、光控开关，以及防盗报警等。 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 像点轴上偏移检测的光焦点法 光焦点法测量原理 a)光学系统 b)垂直分布 c)轴向分布 ΔZ＇= 第5章 辐射信号检测 四、几何光学方法的光电信息变换 像点轴外偏移检测的像偏移法 像偏移法测距原理图 第5