基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计 theory and design of optical current sensor based on mems.pdfVIP

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2017-08-14 发布于上海
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基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计 theory and design of optical current sensor based on mems.pdf

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基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计 theory and design of optical current sensor based on mems

第27卷第3期中国电机工程学报、，01．27No．3Jall．2007 2007年1月 ofmeCSEE @2007Chin．Soc．for Proceedings E1ec．Eng 文章编号：0258_8叭3(2007)03．0089一06中图分类号：TM452．94文献标识码：A 学科分类号：470．40 基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计赵本刚，徐静，高翔，刘玉菲，吴亚明 (中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，上海市长宁区200050) and Of CurI．entSensorBasedonMEMS TheoryDesignOptical ZHAO Yu—fei，WU Ben—gaJlg，XUJing，GAO)(iaIlg，LIUYa—111ing Laboratoriesof1hnsducer of andInfomation (StateKey Techn0109y，ShaIlghailnstituteMicrosystem Technology， Chinese of 200050，China) Acade埘lySciences，ChangningDistrict，Shanghai ABSTRACT．currentsensorshaVe the 件的性能进行了仿真模拟和分析。理论结果表明：温度补偿 Optical conquered cuITent ofconVentional transducer，but disadvantage opticaI withsome as of thevarefaced shoncomings，suchdifficulty andunstable innuenced production perfbrmance by MEMs技术的光学电流传感器具有一定的研究价值。 envimnmental deVices temperature．Manygoodperformance 关键词：光学电流传感器；微电子机械系统；扭转微镜；温 fabricatednovelMEMS canbeinbatches by techn0109y．A 度补偿：耦合损耗 Mechanic MEMS—OCS(Micro，ElectmnjcSystem—Optical CuⅡent currentwas O 引言 Sensor)detectinghighaltemating headof sideis of intmduced．Its sensing primary composed 随着电力工业的迅速发展与电力传输容量的 torsionalmicro—mirroranddualfiber coils， Rogows虹不断增加，运行电压等级也随之增高。作为一种监 collimatoLabout and transitionwas Theory s