高犃犾组分犃犾荦薄膜的弹性塑性力学性质.PDF

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２８ １０ 犞狅犾．２８ 犖狅．１０ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００７ １０ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犗犮狋．２００７ 高 组分 薄膜的弹性 塑性力学性质 犃犾 犃犾犌犪 犖  狓 １－狓 ， １ １ １ １ １ １ １ １ ２ ２ 许福军 沈 波 王茂俊 许 谏 苗振林 杨志坚 秦志新 张国义 蔺 冰 白树林 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （ 北京大学物理学院 人工微结构与介观物理国家重点实验室，北京 ） １ １００８７１ 　 （ 北京大学工学院 先进材料与纳米技术系，北京 ） ２ １００８７１ 　 摘要：采用纳米压痕方法，研究了 ／ 模板上的高 组分 薄膜的力学性质，特别是弹性 塑 犃犾犖 狊 犺犻狉犲 犃犾 犃犾犌犪 犖  狆狆 狓 １－狓 性转变行为 研究表明， 薄膜的杨氏模量 随着 组分的增加而增大，薄膜中产生塑性形变所必要的 ． 犃犾犌犪 犖 犈 犃犾 狓 １－狓 剪切应力也随着 组分的增加而增大 在 薄膜纳米压痕实验中，观察到位移不连续的跳断（“ ”） 犃犾 ． 犃犾犌犪 犖 狅犻狀 狓 １－狓 狆狆 行为，并且发现“ ”行为强烈依赖于 组分， 组分的增加导致这种行为的减少 我们认为随着 组分的增 狅犻狀 犃犾 犃犾 ． 犃犾 狆狆 加， 中键能的增强和由于 与 ／ 模板之间晶格失配减少这两个因素增加了 犃犾犌犪 犖 犃犾犌犪 犖 犃犾犖 狊犪 犺犻狉犲 狓 １－狓