真空高压气体渗氮工艺与设备探讨.PDFVIP

_匡蓍曩蚕盛圜曼塞皇壁旦J 真空高压气体渗氮工艺与设备探讨 北京纵凌华刨真空技术有限公司 (100085)翟宝隆 气体渗氮工艺广泛用于机械零件的生产中，它有 氮过程比气体渗氮快得多。 许多优点，但也有不足之处，如工艺时间长等。为此， (2)离子渗氮 零件作为阴极在高压电场中受到 人们采取了很多方法来提高渗氮速度，高压渗氮就是其 氮离子的轰击，氮离子的能量超过一般气体氮化条件下 中之一。在国外，石油机械零件的渗氮压力达到了0．5 分解氨中的氮原子能量3000倍以上。铁原子与处在激发 - 0．6MPa(5～6kgfc／m)以上；在国内，增压渗氮可 状态下的氮离子化合成铁的氮化物并被吸附在因轰击而 明显提高渗氮速度。 消除了钝化层的金属表面。这些区域由于金属品格出现 与液体渗氮和离子渗氮相比较，气体渗氮的升 高密度的位错缺陷而具有强大的吸附能力，从而很快完 温、降温、表面吸附过程及界面反应速率较慢。为了探 成第一阶段的化合反应。离子渗氮的升温和降温速度也 寻提高渗氮速度的途径与设备改进的方向，在此做一分 大于气体渗氮。 析、比较。 (3) 气体渗氮 大多是在一个耐热钢罐中通入氨 1．渗氮工艺过程的基本原理 气，排空空气后加热。由于罐体热容量大，外热式加热 目前 ，广泛运用的渗氮工艺方法有三种 ，即气体 的热传导慢，所以升温、降温很慢。又因为气氛压力 渗氮、盐浴渗氮 (液体渗氮)和离子渗氮。它们最主要 低，吸附与界面反应速率低，所以渗速较慢。 的区别在于表面吸附和界面反应速率的差别。一旦金属 2．影响气体渗氮工艺的参数 表面生成了Fe[N]固溶体或者氮化物之后，氮原子向内 在气体渗氮控制的主要参数中，人们对温度、时 部的扩散原理与速度可以认为是相同的。 间、流量及氨分解率等对工艺过程的作用比较清楚，而 渗氮过程的基本原理如附表所示。它分为两个主 对炉压对渗氮过程的作用重视不够。炉压对气体渗氮的 要过程 ，首先是金属表面的物理、化学作用，生成金属 作用有以下几方面。 氮化物或间隙固溶体。然后在扩散激活能的驱使下，氮 (1)提高炉内气压可以增加零件表面的吸附量， 原子向金属内部扩散并生成金属氮化物。显然，第一阶 在显微镜下观察金属表面是凹凸不平的。从化学观点 段对渗氮工艺过程有着 渗氮过程基本原理示意 重要的影响。 渗氮方法 气体渗氮 液体渗氮 离子渗氮 (1)液体渗氮 将 加热方法 气体加热 液体加热 离子轰击加热 零件直接浸入熔盐中， 渗剂 NH3 熔融含氮碱金属盐 NH3、N2二者混合气 升温时间短。氮化层的 界面状态 气态 液态 等离子体 形成动力和速度比在气 反应类型 NH，鲁 寻H：一 熔盐+Fe—FeN[J 熔盐+Fe—FeN【] 相 中要大、要快 。保温 A 目 目 Fe+[N]~Fe[N】 化学反应 化学反应 结束后，零件可以立 即 ’ 表面吸附+界面反应 空冷或油冷。因此 ，渗 固相扩散