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不同流量比下沉积
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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薄膜键结构的红外分析
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辛 煜 宁兆元 甘肇强 陆新华 方 亮 程珊华
!)(苏州大学物理系,苏州 !#$$% )
)(苏州大学化学系,苏州 !#$$% )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
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通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用 源气体制备 薄膜 红外结果表明,
’( * ’(+ -.’ / + / ( 0
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薄膜随着流量比 [ ][ ] [ ])的变化存在结构上的演变, 时,薄膜主要是以类金
-.’ / + / ( ! 1 ’(+ * ’(+ 2 ’( ! 3 %) 4
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刚石( )特征的结构为主;当 时,薄膜表现为一个类聚四氟乙烯( )的结构,结构单体主要为 同
56’ ! 7 %) 4 89+: .’+ 0
时这种结构上的变化影响着薄膜的光学带隙 在类 特征结构区, 随着流量比的增加而下降,而在类
0 56’
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