不同流量比下沉积.PDFVIP

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不同流量比下沉积

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 #$ ! $$! ! , , , I@O 0#$ N@ 0 ! 5SESCTSU $$! ( ) !$$$.,$*$$!*#$ ! *).$# P’9P 8(AQR’P QRNR’P !$$! ’FD 0 8FVW 0 Q@E 0 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 不同!# % ! 流量比下沉积’(! )# ) $ 薄膜键结构的红外分析 !) !) !) ) !) !) 辛 煜 宁兆元 甘肇强 陆新华 方 亮 程珊华 !)(苏州大学物理系,苏州 !#$$% ) )(苏州大学化学系,苏州 !#$$% ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) $$! # # $$! 通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用 源气体制备 薄膜 红外结果表明, ’( * ’(+ -.’ / + / ( 0 ) , 薄膜随着流量比 [ ][ ] [ ])的变化存在结构上的演变, 时,薄膜主要是以类金 -.’ / + / ( ! 1 ’(+ * ’(+ 2 ’( ! 3 %) 4 , , ) 刚石( )特征的结构为主;当 时,薄膜表现为一个类聚四氟乙烯( )的结构,结构单体主要为 同 56’ ! 7 %) 4 89+: .’+ 0 时这种结构上的变化影响着薄膜的光学带隙 在类 特征结构区, 随着流量比的增加而下降,而在类 0 56’

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