压电微动平台的改进 犘犐犇 控制.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３８ ３ Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．３ 　 　 　 　 年 月 ２０１６ ０６ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｊｕｎｅ２０１６ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１６０３０４４１０４ 　　 压电微动平台的改进犘犐犇控制 蔡成波，崔玉国，蔡永根，李 勇 　 （宁波大学 机械工程与力学学院，浙江 宁波 ３１５２１１） 摘 要：为使压电微动平台具有良好的静动态特性，即响应快，超调量小，无振荡及稳态误差小，采用比例、积 　　 　 分、微分（ ）控制法来对其进行定位