莫尔条纹动态细分误差的傅里叶分析评估方法 fourier analysis assessment method for dynamic interpolation error of moir(e) fringe.pdfVIP
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莫尔条纹动态细分误差的傅里叶分析评估方法 fourier analysis assessment method for dynamic interpolation error of moir(e) fringe
第26卷第6期 电子测量与仪器学报 怡£26No.6
oF ANDlNS丁RUMENT
·548· JoURNALEUjcTRoNlCMEAsUREMENT 2012年6月
DOl:10.3724/SPj.1187.2012.00548
莫尔条纹动态细分误差的傅里叶分析评估方法木
万秋华
(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春130033)
摘要:为了实现对高精度光电编码器莫尔条纹动态细分误差的评估,研究了莫尔条纹动态细分误差的傅里叶分析评估方
法。首先采集光电编码器精码的莫尔条纹光电信号送入计算机:然后运用线性插值、泰勒级数等方法将时间信号还原为位置信
号;最后对位置信号进行傅里叶变换,计算出莫尔条纹光电信号的波形参数,实现对光电编码器动态细分误差的评估。实验结果
表明:对某24位光电编码器动态细分误差进行评估。细分误差的峰值为+0.54”和-o.18”。此方法测量速度快,测量精度高,适合
在光电编码器应用现场对细分误差进行评估。
关键词:光电编码器:莫尔条纹;动态细分误差;傅里叶分析评估
中图分类号:TN929.52文献标识码:A 国家标准学科分类代码:510.5015
Fourier assessmentmethodfor errorof
analysis dynamicinterpolation
Moir∈fringe
Wan
Qiuhua
(ChangchunInstituteofOpfics,FineMechanics 130033.China)
Abstract:InordertorealizetheassessmentforMoir6 errorin
fringedynamicinterpolationhighprecisionoptical
encoder,a errorassessmentmethodbasedonFourier is
dynamicinterpolation analysis fringe
istransmittedinto data the aslinearin—
methodsuch
photoelectricsignal computerthroughacquisitioncard.Then。using
seriesthe isreverted
time intolocation transformtothelocationis
terpolation,Taylorsignal signal.Finally,Fourier signal
carriedoutandthe Moir6 waveform are assessmentto
calculated,thereforethe the
photoelectricfringesignal parameters
canbe
encoder error
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