以ZnS为源用化学气相沉积法在硅衬底上生长ZnO纳米颗粒.PDF

第 23 卷第 3 期 Vo1．23，No．3 第23卷第3期 红外与毫米波学报 Vo l. 23 , No.3 红外与毫米波学报 2ω4 年 6 月 2004年6月 June ， 2ω4 J．Infrared Millim．Waves June，2004 1. Infrared Millim. Waves 文章编号:1 ∞l … 9014(2∞4)03 叩 0176 … 05 文章编号：1001—9014(2004)03—0176—05 以 ZnS 为源用化学气相沉积法在硅衬底上 以ZnS为源用化学气相沉积法在硅衬底上 生长 ZnO 纳米颗粒 生长ZnO纳米颗粒 李宇杰 石鹏博 段然 张伯总 乔永平 泰国刚 黄 兰2 李宇杰 ， 石鹏博 ， 段 然 ， 张伯蕊 ， 乔永平 ， 秦国目0 ， 黄 兰 (1.北京大学 物理学院介观物理国家重点实验室.北京 l ∞871 ;2. 北京大学化学学院，北京 100871) (1．北京大学 物理学院介观物理国家重点实验室，北京100871；2．北京大学化学学院，北京100871) 摘要:首次以 ZnS 为源，采用化学气相沉积法在抛光的 Si 且在品片衬底上生长品态的 ZnO 纳米颗粒，其形貌、尺寸和 摘要：首次以ZnS为源，采用化学气相沉积法在抛光的si单晶片衬底上生长晶态的ZnO纳米颗粒，其形貌、尺寸和 密度都与气体流景、衬底温度、生长时间以及有无催化剂等生长条件密切相关.在没有 Au 催化的条件下，ZnO 颗粒 密度都与气体流量、衬底温度、生长时间以及有无催化剂等生长条件密切相关．在没有Au催化的条件下，ZnO颗粒 4 9 2 虽因形颗粒，直径多在 30♂oonm 之间，密度为 10 一10 cm- ; 有 Au 催化的条件下，ZnO 纳米颗粒呈六边形，平均尺 呈圆形颗粒，直径多在30-200nm之间，密度为10 一10 em～；有Au催化的条件下，ZnO纳米颗粒呈六边形，平均尺 8 lo … 寸明显变小，在 10-1∞cm 之间，而密度显著提高，为 10 IO cm 气所制备的纳米 ZnO 颗粒在 497nm 和 376nm 附 寸明显变小，在10—100cm之间，而密度显著提高，为10 一10…em一．所制备的纳米ZnO颗粒在497nm和376nm附 近分别有很强和较弱的光致发光. 近分别有很强和较弱的光致发光． 关 键词:凝聚态物理;ZnO 纳米颗粒;化学气相沉积;Si 衬底;光致发光 关 键 词：凝聚态物理；ZnO纳米颗粒；化学气相沉积；Si衬底；光致发光 中图分类号:047 文献标识码:A 中图分类号：047 文献标识码：A