化学气相沉积C-TaC涂层的结构及其摩擦性能-材料研究学报.PDF

第30 卷 第9 期 材 料 研 究 学 报 Vol. 30 No. 9 2 0 1 6 年 9 月 CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH September 2 0 1 6 化学气相沉积C-TaC 涂层的结构 及其摩擦性能* 吕东泽 陈招科 熊 翔 王雅雷 孙 威 黎泽豪 ( 中南大学 粉末冶金国家重点实验室 长沙 410083) 摘要利用TaCl -C H -Ar 反应体系, 用化学气相沉积法(CVD), 在高纯石墨表面制备了不同炭含量的C-TaC 复相涂层。研 5 3 6 究了室温条件下C-TaC 复相涂层的摩擦学性能。采用扫描电镜、X 射线衍射仪、X 射线光电子能谱仪等对涂层的微观组 2 织结构及摩擦表面形貌进行了分析。研究发现: Ta 的加入促使热解炭中更多sp 杂化键的形成, 促进炭基涂层的石墨 化。当炭含量为86.4%(质量分数) 时, 涂层结构为热解炭与TaC 晶粒相结合的纳米复相结构, 此时涂层的摩擦系数最低, 为0.13, 且摩擦曲线平稳, 磨损机制主要为磨粒磨损、黏着磨损和疲劳磨损。通过调节涂层中热解炭的含量以及晶粒大小 可改善其摩擦学性能。 关键词 复合材料, 材料表面与界面, C-TaC 复相涂层, 化学气相沉积, 微观结构, 摩擦性能 分类号 TB331 文章编号 1005-3093(2016)09-0690-07 Microstructure and Tribological Property of C-TaC Coatings on Graphite Prepared by Chemical Vapor Deposition LV Dongze CHEN Zhaoke** XIONG Xiang WANG Yalei SUN Wei LI Zehao (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, China) *Supported by National Basic Research Program of China No. 2011CB605805, Science and Technology Projects of Hunan Province No. 2015WK3013, and State Key Laboratory of Powder Metallurgy at Central South University. Manuscript received December 2, 2015; in revised form May 20, 2016. **To whom correspondence should be addressed, Tel: E-mail: chenzhaoke2008@163.com ABSTRACT C-TaC coatings with different C contents (in mass fraction) were deposited on pure graph- ite by chemical vapor deposition technique wi