钛酸锶钡薄膜微细图形的制备 photosensitive barium strontium titanate gel films and their fine-patterning.pdfVIP

第27卷第9期 半导体学报 V01．27No．9 oF 2006年9月 CHINESEJoURNALSEMICoNDUCToRS Sep．，2006 钛酸锶钡薄膜微细图形的制备* 张卫华1’+ 赵高扬1 李 莺1 赵 卫2 (1西安理工大学材料科学与工程学院，西安710048) (2中国科学院西安光学精密机械研究所，西安710068) 摘要：采用化学修饰的溶胶凝胶工艺，制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡(Ba0ssr0。Ti03)溶胶及其凝胶薄 膜．提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新方法，即以苯酰丙酮(BzAcH)为化学修饰剂，乙酸钡、氯化锶、钛酸丁酯为原 料，甲醇为溶剂，乳酸为催化剂，合成了具有螯合物结构的前驱溶胶体系．其螯合物的特征吸收峰在358nm附近，该 溶胶及其凝胶薄膜在室温下有较好的化学稳定性；高压汞灯产生的紫外光照射可以分解薄膜中的螯合物结构，伴 随着这种螯合物结构的分解，薄膜在乙醇中的溶解性迅速降低，从而表现出紫外光感应特性．利用这种光感应特 性，采用紫外光通过掩膜照射薄膜，然后在乙醇中溶洗，获得了凝胶薄膜的微细图形，进一步通过600℃晶化热处 理，最后得到了具有钙钛矿相结构和铁电特性的钛酸锶钡薄膜的微细图形． 关键词：钛酸锶钡；铁电薄膜；微细图形；溶胶凝胶 PACC：7780；4270；8270G 中图分类号：TNl04．2文献标识码：A 文章编号：0253-4177(2006)09-1590-05 1 引言 剂，按1：30的摩尔比将乙酸钡溶于甲醇中，在催化 具有钙钛矿结构的钛酸锶钡(Ba。。Sr0．。Tio。， BST)材料具有优良的介电、热释电性能，在动态随温搅拌，直至完全溶解，得到溶液A；氯化锶按1： 机存储器和红外探测器方面具有广泛的应用前 30的摩尔比溶于甲醇中搅拌直至完全溶解，得到溶 景[1]．BST铁电薄膜应用于微电子器件，其中一个 液B；将BzAcH溶于甲醇中，完全溶解后，再加入钛 关键的技术是对其进行微细加工以获得微细图形． 酸丁酯，室温下搅拌使其充分反应，得到溶液C．最 目前，国内外已有采用离子束刻蚀、等离子刻蚀和反 应离子刻蚀等技术获得PzT，BST铁电薄膜的微细：1将上述A，B，C三种溶液混合、搅拌，得到澄清 图形的研究报道[2’3]，然而，这些微细加工方法成本稳定的Ba08sr02Ti03(BST)前驱溶胶． 高、效率低．作者采用光感应性溶胶．凝胶(sol-gel) 2．2 BsT凝胶薄膜的光谱特性测试 工艺在制备PZT，PLzT等铁电薄膜微细图形方面 进行了研究．本文基于同样的光感应微细加工原理， 采用浸渍．提拉法，分别以石英基板、硅基板、 利用Ti的金属醇盐易于和p二酮类螯合物发生螯 ITo玻璃基板为衬底制备凝胶薄膜．石英基板用于 合反应，结合s01．gel工艺，实现了不同基板上感光 性BsT凝胶薄膜的制备，利用紫外光谱、红外光谱 IR 基板用于凝胶薄膜的红外光谱测试(Shimadzu 分析探讨了薄膜的化学结构和感光机理，并借助图 形掩膜，通过紫外光源照射制备得到了具有微细图 性测试和结构表征． 形的BsT薄膜，通过xRD衍射仪和铁电分析仪测 试了薄膜晶体结构和铁电特性． 2．3 BST薄膜的微细图形加工 2 实验 BsT薄膜的微细图形加工过程如图1所示．紫