钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展 the preparation, applications and research progress of pbxsr1-xtio3 ferroelectric thin film.pdfVIP

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2017-08-14 发布于上海
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钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展 the preparation, applications and research progress of pbxsr1-xtio3 ferroelectric thin film.pdf

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钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展 the preparation, applications and research progress of pbxsr1-xtio3 ferroelectric thin film

绝缘材料2006，39(6) 裴亚芳等：钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展 23 钛酸锶铅铁电薄膜的制备、应用及其研究进展裴亚芳，杨传仁，陈宏伟，张继华，冷文健 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都610054) sput— 铁电移楣器、动态随机存储器(DRAM)和热释电红外探测器方面的应用，提出了发展展望。关键词：钛酸锶铅(PsT)；铁电薄膜；制备工艺；应用中图分类号：TM28文献标志码：A 文章编号：1009—9239(2006)06一0023一05 The andResearch Preparation，Applications Progress ofPb FerroelectricThinFilm xSrl—zTi03 PEI Chuan—ren，CHEN Ji-hua，LENG Ya-fang，YANG Hong．wei，ZHANG Wen—jian (St口tP D口口icPs。 KI已yL口60r口盂Dryo，EZPf￡ro靠ic办i扎FfZ，竹5口挖dj”￡．PgrntPd U竹i口Prsi￡yo，EZPctro竹ic Sc溉ce嬲d nc是嚣oZ8鲫∥c矗拙口，饶朗鲥酲0笛4，@￡挖盘) onthe ofleadstrontium as Astract：The oftheresearch ferroelectricthinfilm titanate， progress itsfour suchas PLDandMOCVD。 wellas methods． Sol—Gel， preparation magnetronsputtering， andits in infraredsensor，are shifter，Dl淑M，pyrolectric presented． applicationsphase words：leadstrontium thin titanate；ferroelectric Key film：preparation l前言作为薄膜材料。与BST相比，PST的铁电临界尺寸微波可调介电材料在微波可调元件上有着广阔较小，晶化温度低。制备工艺与si微电子工艺兼容。的应用前景，如移相器、谐振器、滤波器等。更能满足高性能si基集成电路的需要，对推动现代器件向小型化和集成化方向发展具有十分重要的意 Ba。Srl．。Ti03(BST)薄膜由于具有良好的可调性和对电场快速的反应能力等优点而使人们对其进行了义Hjo本文简要介绍了PsT薄膜的制备工艺、应用及大量的研究nlo然而，其高生成温度和大漏电流限制要求、研究进展。了它在实际生产中的应用。因为高的生成温度不利于半导