浅谈特种微小机械加工技术-天津大学研究生e-Learning平台.PDF

1 先进制造技术课程大作业 2014 年11 月 浅谈特种微小机械加工技术 刘德帅 天津大学机械学院机械制造及其自动化专业2014 级硕士生 摘要：国际精密机械和机械人的研究向着微小化，智能化方向发展。一方面，随着大规模集成电路制作设备、工艺与技术的 发展，以微米级尺寸为特征的微机械电子系统的研究已成为世界瞩目的重大科技发展方向， 并且受到越来越广泛的重视。另 一方面， 以结构尺寸毫米级为特征的微小机械的研究也同样具有广阔的发展前景和实用价值。 关键词：微小机械 微型机械 主体 集成化 根据原日本东京大学林辉教授的定义,把 结构 0 前言* 尺寸在 lmm~ 10mm 的称为微小机械收 (Minimeehanism) 。尺寸在10μm ~lmm 的称为微型 微机械的研究刚刚起步, 理论基础还很薄弱。 机械 (mieromeehanism )，在10nm ~ 10μm 尺寸段的 特别是微机械的制作, 主要依赖于微细加工技术和 称为超微型机械( Submieromeehanism )，统称为“微 光刻、蚀刻等技术。不仅制造技术难度大, 而且设 机械”。 备投资大, 在某种程度上限制了微机械的发展。微 微型机械技术衍生于微电子技术领域，由于这 小机械的加工可以综合利用传统的机械加工工艺和 种历史原因，迄今硅微细加工在微型机械制造中占 现代微细加工工艺, 其难度相对来说较低, 投资量 据主要位置。硅微细加工批量制作、预组装方式及 也少。微小机械与微型机械同是精密机械学科延伸 易与电路集成的技术特点为微型机电系统、微型机 发展的两个新的生长点, 两者各有自身的工作环 械的实现提供可行的途径和新颖的概念，为从机械 境。微小机械在其自身结构尺寸所定义的工作环境 工程角度考虑微型机械的实现予以有益启迪。 和工作界面中, 具有其它尺寸限的机械所不可替代 目前，微小机械的研究在日本开展的最为活跃， 作用。在医疗、微电子精细加工设备、微组装技术 取得不少成果。他们的研制开发工作已经深入到了 以及航空航天等高科技领域,都有着非常迫切的研 很多公司，国家和高等院校的研究机构。为了鼓励 究开发需求。例如: 人们目前生产中遇到的lmm 的 和促进微小机械的发展，日本1991 年开始每年举行 宝石轴承、齿轮以及S M T 贴片电路中用的片状电 一次微小机械登山大赛，其中涌现了很多优秀作品。 路(1 ×lmm)等物体的搬运和装配, 或者是依赖传统 其长度尺寸均小于 10mm 。比较有代表性的是 方式, 采用较大的精密的机械, 或者设计制造一些 Osamus Miyagawa 研制的“Monsieur ”光诱导行走 微小机械末满足要求很显然, 后者具有作用空间 机械人。Masato Mizukuim 等研制的电磁致动行走 小、能耗低、成本低廉的特点, 是最佳方案。另外, 微 机械人。“登山”的难度逐年增大，过去是攀登抛 小机械在系统尺寸上作为大中型机械向微机械的过 物面，近年的比赛增加了攀登垂直壁面的内容。国 渡, 从它入手, 其基础理论的研究成果以及践经验, 内一些科研单位也在体积为l mm 左右的微小电机， 均可以作为微型机械理论研究和实际应用的引导和 微小加工设备等方面进行了研究并取得了进展。从 借鉴。通过不断努力减小尺寸, 向微型机械过渡。 总体上讲，微小机械的研究开发过程分为以下几个 此亦不失为加速微型机械实用化的重要手段。因此， 阶段：行走机构、加执行机构、加各种传感器、智 微小机械同样是当今新技术研究的热点之一试验方 能化的系统集成。在这几个阶段中，不断微小化、 法和试验方案。