芯片测试探针X射线图像模式识别技术研究-计算机应用与软件.PDF

第３０卷第７期　　　 计算机应用与软件 Ｖｏｌ３０Ｎｏ．７ ２０１３年７月　　 ＣｏｍｐｕｔｅｒＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓａｎｄＳｏｆｔｗａｒｅ Ｊｕｌ．２０１３ 芯片测试探针Ｘ射线图像模式识别技术研究 黄传霞　赵勋杰 （苏州大学物理科学与技术学院　江苏苏州２１５００６） 摘　要　　研究ＩＣ半导体芯片测试探针图像模式识别的关键技术和方法。通过对大量测试探针图片的分析，发现不同系列探针图 像的长、宽、各部分比例、面积有明显差别，而同一系列探针的相差不大，主要差别在头部和尾部的形状上。根据各种型号探针头部 和尾部的形状特点，提出识别每种型号探针的形状特征参数，建立探针特征数据库。以其中３个系列１６种探针为例，详细介绍探针 形状特征的提取方法，并基于ＭＡＴＬＡＢ开发了一个探针图像模式识别系统。实验表明该系统能够实现图像抓取、预处理、特征提 取、识别及报警功能。 关键词　　测试探针　Ｘ图像　形状特征　模式识别 中图分类号　ＴＰ３９１．４１　　　　文献标识码　Ａ　　　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００３８６ｘ．２０１３．０７．０６４ ＯＮＸＲＡＹＩＭＡＧＥＰＡＴＴＥＲＮＲＥＣＯＧＮＩＴＩＯＮＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＦＯＲＣＨＩＰＴＥＳＴＰＲＯＢＥ ＨｕａｎｇＣｈｕａｎｘｉａ　ＺｈａｏＸｕｎｊｉｅ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｙｓｉｃａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＳｏｏｃｈｏｗＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｕｚｈｏｕ２１５００６，Ｊｉａｎｇｓｕ，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ　　ＴｈｉｓｐａｐｅｒｉｓｉｎｖｏｌｖｅｄｉｎｔｈｅｓｔｕｄｙｏｆｋｅｙｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓａｎｄｍｅｔｈｏｄｓｏｆｉｍａｇｅｐａｔｔｅｒｎｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎｉｎｒｅｇａｒｄｔｏｔｅｓｔｐｒｏｂｅｆｏｒＩＣ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｃｈｉｐｓ．Ｂｙａｎａｌｙｓｉｎｇａｇｒｅａｔｄｅａｌｏｆｉｍａｇｅｓｏｆｔｈｅｔｅｓｔｐｒｏｂｅｓｗｅｆｉｎｄｔｈａｔｔｈｅｒｅｉｓａｃｌｅａｒｄｉｓｔｉｎｃｔｉｏｎｉｎｔｈｅｌｅｎｇｔｈ，ｗｉｄｔｈ，ｔｈｅ ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎｓａｎｄａｒｅａｓｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔｐａｒｔｓａｍｏｎｇｔｈｅｉｍａｇｅｓｏｆｔｅｓｔｐｒｏｂｅｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｓｅｒｉｅｓ，ｗｈｉｌｅｆｏｒｔｈｏｓｅｔｅｓｔｐｒｏｂｅｓｉｎｓａｍｅｓｅｒｉｅｓ，ｔｈｅｒｅ ｉｓｎｏｂｉｇｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ，ｔｈｅｍａｉｎｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｉｓｉｎｔｈｅｓｈａｐｅｓｏｆｔｈｅｈｅａｄａｎｄｔａｉｌ．Ｓｏｗｅｐｒｏｐｏｓｅｔｈｅｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎｏｆｔｈｅｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｓｈａｐｅ ｆｅａｔｕｒｅｓｆｏｒｅｖｅｒｙｍｏｄｅｌｏｆｔｈｅｔｅｓｔｐｒｏｂｅａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｓｈａｐｅｆｅａｔｕｒｅｓｏｆｖａｒｉｏｕｓｔｅｓｔｐｒｏｂｅｍｏｄｅｌｓｉｎｔｈｅｉｒｈｅａｄｓａｎｄｔｈｅｔａｉｌｓａｎｄｅｓｔａｂｌｉｓｈ ａｆｅａｔｕｒｅｄａｔａｌｉｂｒａｒｙｆｏｒｔｅｓｔｐｒｏｂｅｓ．Ｗｅｔａｋｅ１６ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｔｅｓｔｐｒｏｂｅｓｆｒｏｍ３ｓｅｒｉｅｓａｓｔｈｅｅｘａｍｐｌｅ，ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｉｎｄｅｔａｉｌｔｈｅｍｅｔｈｏｄｏｆ ｅｘｔｒａｃｔｉｎｇｔｈｅｔｅｓｔｐｒｏｂｅｓ’ｓｈａｐｅｆｅａｔｕｒｅｓ，ａｎｄｄｅｖｅｌｏｐｂａｓｅｄｏｎＭＡＴＬＡＢａｔｅｓｔｐｒｏｂｅｉｍａｇｅｐａｔｔｅｒｎｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍ．Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ ｉｎｄｉｃａｔｅｓｔｈａｔｔｈｅｓｙｓｔｅｍｃａｎｒｅａｌｉｓｅｔｈｅｆｕｎｃｔｉｏｎｓｏｆｉｍａｇｅｃａｐｔｕｒｅ，ｐｒｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ，ｆｅａｔｕｒｅｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ，ｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎａｎｄａｌａｒｍ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ　　Ｔｅｓｔｐｒｏｂｅ　Ｘｒａｙｉｍａｇｅ　Ｓｈａｐｅｆｅａｔｕｒｅ　Ｐａｔｔｅｒｎｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎ 导致用户对产品的不满。 ０　引　言 图１是某公司生产的几种型号