芯片键合换能系统研究现状分析-中国机械工程.PDF

芯片键合换能系统研究现状分析———吴运新 隆志力 韩 雷等 暋 暋 暋 芯片键合换能系统研究现状分析 吴运新 隆志力 韩 雷 钟 掘 暋 暋 暋 暋 暋 , , 中南大学 长沙 410083 : , 。 , 摘要 换能系统是芯片封装装备的核心机构 其工作性能直接决定键合质量 结合 自身研究成果 , , 、 综述了芯片键合换能系统的研究现状 分析了当前换能系统的理论建模与设计方法 包括解析法 传递 、 。 , , 矩阵法 等效电路法以及有限元法等 结合多年的试验测试 分析了当前换能系统存在的缺陷与不足 、 、 , 如频率混叠 超声能量不稳定 响应滞后等 指出了满足未来系统级封装工艺要求的换能系统的发展方 , 。 向 提出了提高换能系统工作性能的若干建议 : ; ; ; 关键词 换能系统 超声键合 研究现状 发展趋势 中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TN305.94暋暋暋 1004 132X200811 1373 06 State-of-the-artofUltrasonicTransducerResearchinMicroelectronicsPackain g g WuYunxin暋Lon Zhili暋HanLei暋Zhon Jue g g , , CentralSouthUniversit Chansha 410083 y g : , AbstractUltrasonictransduceristheke com onentinthemicroelectronics ackain machine y p p g g anditsworkin erformancedirectlinfluencesthebondin ualit.The resentresearchonultrason灢 gp y gq y p ictransducersstemwassummarizedb ourrecentresearchesherein.Thetheormodelin anddesin y y y g g , , ,