积硅薄膜电池及其在塑料衬底上的应用.pdfVIP

第31卷第1期 太阳能学报 V01．31．No．1 2010年1月 ACTAENERGIAESOLAreSSINICA Jan．．2010 文章编号：02S4_∞96(加10)01．0040-05 低温沉积硅薄膜电池及其在塑料衬底上的应用 倪 牮，薛俊明，赵 鹏，张建军，袁育杰，侯国付，赵 颖，耿新华 (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津300071) 摘要：采用射频等离子体增强化学气相沉积(盼PECvD)技术，保持衬底温度在1250C沉积硅薄膜材料及电池， 研究了硅烷浓度、辉光功率等沉积参数对材料和电池性能的影响。在12．5。C的低温条件下，通过优化沉积工艺，在 玻璃衬底和PET塑料衬底上分别制备出效率达到6．8％和3．9％的单结非晶硅电池。在PET衬底上，将低温沉积非 晶硅电池的技术应用于的叠层电池的顶电池，制备出效率为4．6％的非晶／微晶硅叠层电池。 关键词：低温沉积；硅薄膜太阳电池；塑料衬底；柔性电池 中图分类号：TK513．5文献标识码：A