微结构光学零件的大气等离子体数控加工_李娜.pdfVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 ２１ ４ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　　　　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ 年 月 　 ｐ 　 　 　 ｇ ｇ ２０１３ ４ Ａ ｒ．２０１３ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ ２０１３０４０９３４０７ 　 － － － 微结构光学零件的大气等离子体数控加工 ＊ ， ， ， ， 李 娜 王 波 金会良 袁 野 杨允利 　 　 　 （ ， ） 哈尔滨工业大学机电工程学院 黑龙江哈尔滨 １５０００１ ： ， 。 摘要 为了实现对微结构光学零件无表面损伤和亚表面损伤的高效加工 建立了大气等离子体数控加工系统 研究了该 、 。 ， 系统的平台设计 大气等离子体加工工艺特性及其数控加工过程 首先 根据大气等离子体加工的原理及要求介绍了该 。 ， ／ ／ ， 数控加工系统的组成 然后 以Ｈｅ ＳＦ Ｏ 加工熔融石英为例 采用针状电极等离子体矩对系统加工工艺的可控性以 ６ ２ ， 。 ， 及多参数工艺特性进行了探索 并根据工艺实验结果拟合出该加工条件下的去除函数 最后 介绍了整个大气等离子体 。 ： 、 数控加工的实现过程 实验结果表明 利用该系统可以在平面融石英材料上加工出幅值为 １５０ｎｍ 波长为６ｍｍ的正弦 网格结构， ， 。 由此验证了该数控加工系统的可行性 实现了对复杂面型光学零件表面的确定性加工 ： ； ； ； 关 键 词 微 结构 光学 零件 大气等 离子 体加 工 去除深度 数 控 加 工 系统 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＮ３０５．２ ＴＧ６５９ Ａ ｄｏｉ１０．３７８８ＯＰＥ０９３４ 　　 　　 Ｎｕｍｅｒｉｃａｌｌ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄａｔｍｏ