工艺调试过程中各个参数对膜厚和折射率的影响课件.pptxVIP

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工艺调试过程中各个参数对膜厚和折射率的影响课件

工艺调试过程中各个参数对膜厚和折射率的影响 一、时间(s): 选用炉管5-2,初始时间610s,测试结果: 更改时间-40s,为570s,测试结果为: 炉尾 炉尾前 炉中 炉口后 炉口 中间 膜厚 86.1000 90.3000 86.3000 87.3000 86.1000 85.4000 折射率 2.0400 2.0600 2.0550 2.0547 2.0561 2.0544 边上 膜厚 85.2000 86.6000 89.0000 88.6000 89.7000 86.5000 折射率 2.0475 2.0550 2.0699 2.0747 2.0877 2.0713 炉尾 炉尾前 炉中 炉口后 炉口 中间 膜厚 83.0000 86.2000 84.4000 82.9000 81.6000 81.2000 折射率 2.0440 2.0480 2.0487 2.0506 2.0550 2.0530 边上 膜厚 79.9000 86.7000 85.1000 87.0000 86.1000 84.4000 折射率 2.0511 2.0607 2.0587 2.7500 2.0675 2.0607 对比后的结果为: 炉尾 炉尾前 炉中 炉口后 炉口 平均值 中间 膜厚 3.1000 4.1000 1.9000 4.4000 4.5000 4.2000 3.8700 折射率 -0.0040 0.0120 0.0063 0.0041 0.0011 0.0014 0.0035 边上 膜厚 5.3000 -0.1000 3.9000 1.6000 3.6000 2.1000 2.7300 折射率 -0.0036 -0.0107 0.0112 -0.0003 0.0202 0.0106 0.0046 从测试的数据结果来计算,膜厚平均值为(3.87+2.73)/2=3.3nm/40s,折 射率平均值为(0.0035+0.0046)/2=0.004/40s 即每变化12s,膜厚变化1nm,每变化10s,折射率变化0.001 膜 厚:1nm/12s ,符合经验值13s/nm 折射率:0.001/10s 二、功率(W) 选用炉管5-2,初始功率5200W,测试结果为: 炉尾 炉尾前 炉中 炉口后 炉口 中间 膜厚 83.0000 86.2000 84.4000 82.9000 81.6000 81.2000 折射率 2.0440 2.0480 2.0487 2.0506 2.0550 2.0530 边上 膜厚 79.9000 86.7000 85.1000 87.0000 86.1000 84.4000 折射率 2.0511 2.0607 2.0587 2.7500 2.0675 2.0607 更改功率+300W,为5500W,测试结果为: 炉尾 炉尾前 炉中 炉口后 炉口 中间 膜厚 87.5000 90.5000 89.7000 86.7000 86.9000 85.4000 折射率 2.0450 2.0670 2.0650 2.0570 2.0611 2.0560 边上 膜厚 86.5000 89.3000 89.9000 89.5000 90.5000 88.6000 折射率 2.0540 2.0780 2.0819 2.0840 2.1002 2.0837 对比后的结果为: 炉尾 炉尾前 炉中 炉口后 炉口 平均值 中间 膜厚 4.5000 4.3000 5.3000 3.8000 5.3000 4.3000 4.5900 折射率 0.0010 0.0190 0.0163 0.0064 0.0061 0.0030 0.0086 边上 膜厚 6.6000 2.6000 4.8000 2.5000 4.4000 4.2000 4.1800 折射率 0.0029 0.0173 0.0232 0.0090 0.0327 0.0230 0.0180 从测试的数据结果来计算,膜厚平均值为(4.59+4.18)/2=4.38nm/300W, 折射率平均值为(0.0086+0.0180)/2=0.0133/300W 即每变化100W,膜厚变化1.5nm,每变化25W,折射率变化0.001,(但是 由于假片用的时间较长,对镀膜会存在一定的影响,大约去掉1.38nm) 膜 厚:1.5nm/100W(经验值:1nm/100W) 折射率:0.

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