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精密定位载物工作台的研制 39 精密定位裁物工作台的研制水 ResearchonthePredsion PositioIlingStage 华晓青 欧阳航空 李鸣呜 葛轶君 孙麟治 (上海大学机电工程与自动化学院，上海200072) 摘要：介绍了大行程纳米定位载物工作台中宏动系统的组成，研究了如何在传统的滚珠丝杠传动及 直线滚珠导轨导向方式下，通过光栅测量装置检测并反馈控制系统，以及相应补偿等，使宏动载物工作台完 成微定位要求的定位精度和分辨率的宏定位。 关键词：载物工作台 精密定位 光栅测量 补偿 ne the oftllemacr0 of distance AbSt陷ct： intmduces paper composition movingsystemlong n粕。一positioning ItresearcheshowtotestandfeedbacktotlleconⅡDl and some witIl stage． systemgive correspondencecompensation device of ball—screw aIldmllerlinear In me鹊urelnent me趴sconventional grating by driving guidaJlce．addition，the macr0 ofthe andresolutionisresearchedwhichneedtobesatis6edforthemacm positioningpositioningprecision realizethe to micro movingstage positioning． wo“ls： me嬲urement Key stageprecisepositioning殍砒ing compensation O 引 言 制造成本，并且增加了调整和维护上的困难。因 无论是生物工程中的细胞操作、集成电路或 此，能否在传统的滚珠丝杠传动及直线滚珠导轨 光电子器件的加工，还是采用扫描电子显微镜进 导向方式下，使整个系统达到纳米级的定位精度 行纳米操作，尽管精度量级要求各不相同，但在硬 的研究，具有实用意义。 件装备中均有一项共性的关键技术，那就是需要 这类精密工程用的载物台因工作性质和用途 解决载物台或其相应设备的高精度的自动测量和 不同，品种很多，有一维、二维或多维运动等，实际 精密定位技术。 都是在一维运动的基础上复合而成。一维纳米定 目前，国外在精密定位技术方面的研究成果 位技术的研究，常常包括宏动和微动两部分，亦即 较多u≈J，国内对大行程精密定位研究工作也很 是在宏动定位控制的基础上，叠加微动定位控制， 重视”。J。从其对精密定位系统的研究情况来 最后实现载物台的大行程运动和纳米级精密定位 看，为了实现大行程，一般都是采用粗精两级定位 技术。尤其是宏动台，是纳米定位系统中的基础 方式。众多研究的纳米定位系统，为了提高定位 部件，对定位精度有相当重要