超声辅助抛光过程中流体性能仿真分析 - 哈尔滨工业大学学报.pdf

第４９卷　 第７期 哈　 尔　 滨　 工　 业　 大　 学　 学　 报 Ｖｏｌ４９ Ｎｏ７ 　 　 ２０ １７年７月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＨＡＲＢＩＮ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ ＯＦ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｊｕｌ． ２０１７ ＤＯＩ：１０．１１９１８／ ｊ．ｉｓｓｎ．０３６７⁃６２３４．２０１６０７０４６ 　 　 　 　 　 　 超声辅助抛光过程中流体性能仿真分析 翟文杰，孙丙镇 （哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨 １５００９０） 摘　 要：为探究超声辅助抛光过程中流体特性对抛光性能的影响，分析超声辅助对试件表面材料去除率的影响机理，分别对 光滑及多孔抛光垫建立不同膜厚尺度下超声振动抛光过程的ＦＬＵＥＮＴ 仿真模型，分析不同变量对流体的压力分布、速度分 布、气相分布等特性的影响规律． 仿真结果表明：超声振动会使试件表面的流体剧烈变化，在横向产生高速流动；工具与研抛 表面之间的液膜越薄，在试件表面产生的压力越大，流体横向流动越强，加工效率越高；抛光垫上的小孔会使液膜中的压力分 布出现阶跃变化，产生更多有利于提高材料去除率的超声空化． 关键词：超声振动辅助抛光；流体膜；剪切流；空化；去除率 － － － 中图分类号：ＴＨ１３３；ＴＰ１８３ 文献标志码：Ａ 文章编号：０３６７ ６２３４（２０１７）０７ ００３３ ０６ Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ａｎｄ ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｎ ｔｈｅ ｆｌｕｉｄ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｉｎ ｓｏｎｏ⁃ａｓｓｉｓｔｅｄ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ＺＨＡＩ Ｗｅｎｊｉｅ，ＳＵＮ Ｂｉｎｇｚｈｅｎ （Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｍｅｃｈａｔｒｏｎｉｃ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｈａｒｂｉｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ １５００９０，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏ ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅ ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｆｌｕｉｄ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｎ ｔｈｅ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｄｕｒｉｎｇ ｓｏｎｏ⁃ａｓｓｉｓｔｅｄ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ａｎｄ ａｎａｌｙｚｅ ｔｈｅ ａｆｆｅｃｔｉｎｇ ｐａｔｔｅｒｎ ｏｆ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ｗａｖｅ ｏｎ ｔｈｅ ｍａｔｅｒｉａｌ ｒｅｍｏｖａｌ ｒａｔｅ（ＭＲＲ）ａｔ ｔｈｅ ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ ｓｕｒｆａｃｅ，ｆｏｒ ｓｍｏｏｔｈ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｐａｄ ａｎｄ ｐａｄ ｗｉｔｈ ｓｍａｌｌ ｈｏｌｅｓ， ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｍｏｄｅｌｓ ｆｏｒ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ｖｉｂｒａｔｉｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｕｎｄｅｒ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｆｉｌｍ⁃ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ ａｒｅ ｂｕｉｌｔ ａｎｄ ａｎａｌｙｚｅｄ ｗｉｔｈ ＦＬＵＥＮＴ ｓｏｆｔｗａｒｅ． Ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ ｐｒｏｃｅｓｓｐａｒａｍｅｔｅｒ ｏｎ ｔｈｅ ｖａｌｕｅ ａｎｄ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ｐａｔｔｅｒｎ ｏｆ ｐｒｅｓｓｕｒｅ，ｖｅｌｏｃｉｔｙ ａｎｄ ａｉｒ ｐｈａｓｅ ａｒｅ ｏｂｔａｉｎｅｄ． Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ｗａｖｅ ｃａｎ ｃａｕｓｅ ｓｔｒｏｎｇ ｓｈｅａｒ ｆｌｏｗ ａｎｄ ｈｉｇｈ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ａｔ ｔｈｅ ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ ｓｕｒｆａｃｅ，ａｎｄ ｔｈｅ ｓｈｅａｒ ｆｌｏｗ ａｎｄｐｒｅｓｓｕｒｅｇｒｏｗ ｓｔｒｏｎｇｅｒｗｉｔｈｔｈｅｄｅｃｒｅａｓｅｏｆｆｉｌｍｔｈｉｃｋｎｅｓｓ．Ｐｏｒｅｓａｔｔｈｅｐａｄｂｒｅａｋｔｈｅｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ｆｌｕｉｄ ｆｌｏｗ ｕｎｄｅｒｗｏｒｋｐｉｅｃｅ，ｗｈｉｃｈ