MLSW10-510Q机械安装技术要求和图解 10Apr2014.pdfVIP

MLSW10-510Q 安装技术要求和图解 Rev: 1.0-10.Apr.2014 MLSW10-510Q 机械安装技术要求和图解 Riceha.Xu 1. MLSW10-510Q 风冷和水冷技术要求 1.1 MLSW10-510Q 风冷技术要求 MLSW-510Q 在送排槽法兰口的风冷技术要求： 1) MLSW10-510Q 送风槽法兰（φ11.88”）处：44.74m3/min @ 3798.5Pa(静压)； 3 2) MLSW10-510Q 排风槽法兰（φ13.94”）处：62.01m /min @ 498.16(静压，负压)。 注： 1) HERAEUS NOBLELIGHT FUSION UV 产品全新风风冷； 2) 进风温度：≤40*C ； 3) 进风必须过滤。基本过滤等级：Merv 8； 4) 未能包含管道，过滤器流阻，请在选择风机时，考虑风道（管道），过滤器等流阻； 5) 建议：风机变频控制，便于调整流量和风压。使用变频器时，可能会引入谐波干扰，因此， 变频器安装位置应远离LH10 电源和LHC10 MarkII 。同时，到LHC10 MARKII 的信号线，为屏蔽 线； 6) 建议：风道通径与送排风槽的法兰直径相同。 1.2 MLSW10-510Q 水冷技术要求 1) 水冷管路接口在MLSW10-510Q 底部； 2) 一进一出，接口：3/4”NPT ； 3) 流量：2.5GPM ； 4) 进水温度：≤20*C； 5) 一般情况下，出水温度比进水温度高15-20*C 。 1 / 8 MLSW10-510Q 安装技术要求和图解 Rev: 1.0-10.Apr.2014 2. MLSW10-510Q 安装图解 2.1 MLS 本体安装 MLS 本体安装时，要注意： 1) MLS 底面到穿膜中心的距离（图1）； 图1 2) 安装支架不能挡住操作门的开启（图2 ）。 图2 2 / 8 MLSW10-510Q 安装技术要求和图解 Rev: 1.0-10.Apr.2014 参照图3 的方式，安装MLS 本体。 图3 2.2 送风槽安装 送风槽到MLS 本体距离（图4 ）：800mm 。建议：600mm 。 图4 安装送风槽时，要注意送风槽支架： 1) 不能挡住操作门（图2 ）； 2) 不能与RF DETECTOR 安装架干涉（图5 ）。 3 / 8 MLSW10-510Q 安装技术要求和图解 Rev: 1.0-10.Apr.2014 图5 参照图6，安装送风槽。 图6 2.3 石英板组件安装 按MLS 图纸（图7 ）所示，结合产线布局图，在产线一侧留出石英板组件安装空间。 图7