TEM课件-祁旋.ppt

淮北师范大学 物理与电子信息学院 透射电子显微镜 （TEM) 主讲人：祁旋 TEM发展概述 原荷兰PHILIPS公司透射电镜 FEI公司TECNAI系列透射电镜 超高电压电子显微镜JEM-ARM1300 JEM 2100 主要内容：1 透射电子显微镜的结构与成像原理2 主要部件的结构与工作原理3 透射电子显微镜分辨率和放大倍数 1 透射电子显微镜的结构与成像原理 JEM-2010主要部件名称 透射显微镜构造原理和光路 1.1 电子光学系统 1.1.1 照明系统 照明系统作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。照明束可在2°~3°范围内倾斜。 主要由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。 电子枪是透射电子显微镜的电子源，常用的是热阴极三极电子枪，它由发夹行钨丝阴极、栅极和阳极组成。 左图为电子枪的自偏压回路，负的高压直接加在栅极上，而阴极和负高压之间加上了一个偏压电阻，使栅极和阴极之间有一个数百伏 的电位差。 阴极:阴极灯丝通常用0.03-0.1毫米的钨丝作成V形。 栅极:栅极是控制电子束形状和发射强度。 阳极:阳极使从阴极发射的电子获得较高的动能，形成定向高速电子流，也称为加速极。 右图反应了阴极、栅极和阳极之间的等电位面分布情况。自偏压回路可以起到限制和稳定束流的作用。由于栅极的电位比阴极负，所以自阴极端点引出的等位面在空间呈弯曲状。在阴极和阳极之间的某一点，电子束会汇集成一个交叉点，就是电子源。直径约几十微米。 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑的大小。 一般采用双聚光系统，第一聚光镜是强励磁透镜，第二聚光镜是弱励磁透镜，在样品平面上可获得直径为2~10微米的电子束斑。 1.1.2 成像系统 成像系统主要是由物镜、中间镜和投影镜组成 1.1.2 成像系统 成像系统主要是由物镜、中间镜和投影镜组成 成像系统作用：将来自样品的、反映样品内部特征的、强度不同的透射电子聚焦放大成像，并投影到荧光屏或照相底片上，转变为可见光图像或电子衍射花样 物镜：用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样 物镜：用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样 1物镜通常为强励磁、短焦透镜（f = 1-3mm）,放大倍数100—300倍，目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm 2电镜的分辨率主要取决于物镜，必须尽可能降低像差。 3物镜的分辨率主要决定于极靴的形状和加工精度，极靴间距越小，分辨率就越高。 4为进一步减小物镜球差，在物镜后焦面上安放物镜光阑。 中间镜：主要控制电镜的总放大倍数 中间镜：主要控制电镜的总放大倍数 特点：弱励磁、长焦距、变倍率透镜 放大倍数可调节0—20倍 当 M 1时，放大图像作用； 当 M 1时，缩小图像作用 作用：将物镜形成一次像或衍射像投影到投影镜的物平面上，形成第二幅电子显微像或衍射像 中间镜成像系统光路图 成像操作：中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到放大像 电子衍射操作：把中间镜的物平面和物镜的焦背面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样 投影镜 投影镜主要是把经中间镜放大（或缩小）的像（或电子衍射花样）进一步放大，并透射到荧光屏上。 特点：短焦距的强磁透镜 景深和焦长都非常大 改变中间镜的放大倍数，不会影响图像的清晰度 中间镜如果出现平移，荧光屏上的图像依旧清晰 投影镜 目前，高性能的透射电子显微镜采用5级透镜放大系统 即中间镜和投影镜两级，分第一中间镜和第二中间镜，第一投影镜和第二投影镜 高倍透射电镜显微图像图像 电子衍射花样成像 1.1.3 观察记录系统 观察和记录系统主要包括荧光屏和照相机构： 荧光屏：通常采用在暗室操作情况下的人眼较敏感的、发绿光的荧光物质来涂制荧光屏，这样有利于高放大倍数、低亮度图像的聚焦和观察 照相机构：荧光屏下放置可自动换片的照相暗盒，只需把荧光屏掀往一侧垂直竖起，照相底片即可曝光 因透射电镜焦长很大，虽荧光屏和底片间有数厘米的间距，但仍能得到清晰图像。 电子感光片是一种对电子束曝光敏感、颗粒度很小的溴化物乳胶底片，它是一种红色盲片。 早期的电子显微镜 用手动快门，构造简单，但曝光不均匀。 新型的电子显微镜 用电磁快门，与荧光屏动作紧密结合，动作迅速，曝光均匀。 1.2 电源与控制系统 电子显微镜需要两个独立的电源，即使电子加速的小电流高压电源和使电子束聚焦与成像的大电流低压磁透镜电源。 要求电源有足够高的稳定性，因为无论是高压或透镜电流的任何波动都会引起像的移动和像面的变化，从而降低分辨本领。 1.3