去除吸附氦试验及相关标准分析 removing absorbed helium testing and its related standards.pdfVIP

去除吸附氦试验及相关标准分析 王庚林，李飞，李宁博，刘永敏 (北京市科通电子继电器总厂有限公司，北京 100041) 摘 700H 要：介绍了两种典型的密封样品的去除吸附氮试验，吸附氮漏率的测试是在Inficon公司Pernicka 型积累氮质谱粗漏细漏组合检漏仪上进行的。给出了试验数据、拟合模式和结果，进而分析了量新的美国军 用标准MIL-STD一750-1／883J氯质谱检■方法在降低被检件吸附氯■率方面的不可检测性．并综合分析了这两 项标准的其他问题．提出了全面改进的方案。 关键词：氮质谱检漏；去除吸附氮；拟合模式；美军标分析 774 中图分类号：11B 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1672—5468．2013．06．002 AbsorbedHelium anditsRelated Removing Testing Standards WANG Fei，LI Geng-lin，LINing-bo，LIUYong—min Electronic 100041，China) (BeijingKeytone RelayCorporationLtd．，Beijing kindsof absorbedhelium forhermetic are Abstract：Two typicalremoving testing samples introduced．Theheliumleaktestis withInfieon’SPernicka thetest performed 700H，anddata， modeandresults oftheheHumleaktestinthenewMn— fitting are百ven．Theundetecmbility interms theabsorbedleakrateof Std-750-1／883Jof heHum theitem-under-test reducing is other ofthetwostandardsare thesolutionfor analyzed．Theproblems analyzed，and improving the is testingpresented． words：helium absorbed standardanal． Key leak；removinghelium；fittingmode；USmilitary ysis O 引言 靠性。从2006年颁布的MIL—STD一750E161开始． 自20世纪70年代开始．国内外许多文献【1胡 指出，当时执行的密封性检测标准的判据，无法保 883J二次修改稿【研。这些美国军用标准中的密封 证密封元器件经筛选和更长时间贮存后的内部水汽 性氦质谱检测方法。普遍大幅度