用于mems惯性器件的低噪声读出电路设计 design of a low-noise readout circuit for mems inertial devices.pdfVIP

櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 ： ｄｏｉ １０３９６９／ ｊｉｓｓｎ１００３３５３ｘ２００９１２００３ 用于 惯性器件的低噪声读出电路设计 ＭＥＭＳ ， １ ２ １ １ １ １ 李金鹏，焦继伟，宓彬伟，张颖，王跃林 （ 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室， １ 上海 ； 中国科学院研究生院，北京 ） ２０００５０ ２ １０００４９ ： ， 摘要给出了一种用于 惯性器件的低噪声读出电路设计针对 惯性器件大多采 ＭＥＭＳ ＭＥＭＳ 用电容量输出等特点，设计了一个低噪声运算放大器，利用该运放，设计了一种基于开关电容的 电荷转移电路来将电容量转换为电压量以便后续电路处理采用了相关双采样 技术 ， 。 （ ） ， ＣＤＳ 较大地减少了电路和 惯性器件的 噪声、热噪声，抑制了零漂。采用 ＭＥＭＳ １／ｆ ＨＨＮＥＣ ０３５ ｍ μ 工艺制造面积为 与 器件封装在一起并进行了实际测试结果表 ＣＭＯＳ ， １ ｍｍ×２ ｍｍ， ＭＥＭＳ ， ， 明该读出电路基本满足要求并具有较低的噪声 ， ， 。 ： ； ； ； ； 关键词低噪声微电子机械系统相关双采样电荷转移惯性器件 ： ： ： （ ） 中图分类号 文献标识码 文章编号 ＴＮ４０５ Ａ １００３３５３Ｘ ２００９ １２１１６２０４ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ ａ ＬｏｗＮｏｉｓｅ Ｒｅａｄｏｕｔ Ｃｉｒｃｕｉｔ ｆｏｒ ＭＥＭＳ Ｉｎｅｒｔｉａｌ Ｄｅｖｉｃｅｓ ， １ ２ １ １ １ １ ， ， ， ， Ｌｉ Ｊｉｎｐｅｎｇ Ｊｉａｏ Ｊｉｗｅｉ Ｍｉ Ｂｉｎｗｅｉ Ｚｈａｎｇ Ｙｉｎｇ Ｗａｎｇ Ｙｕｅｌｉｎ （ ， ， ， １Ｓｔａｔｅ Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｓｈａｎｇｈａｉ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ ａｎｄ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＣＡＳ