直线时栅测量系统的误差研究 study on error of linear time grating measurement system.pdfVIP

第27卷第1期 电子测量与仪器学报 Ⅳ反l 2013年1月 JoURNALoFELECTRoNICk哐AsUREK匝NTANDlNsTRU～雹NT 15 · DOI：lO．3724／SP．J．1187．2013．00015 直线时栅测量系统的误差研究木 高忠华1，2彭东林1，2 (1．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009；2．重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 重庆400054) 摘要：研究直线时栅位移测量系统中的误差规律，对提高时栅测量系统的测量精度及进一步优化系统结构具有重要意义。在 分析直线时栅测量系统误差来源的基础上，定量分析了时栅误差、导轨误差、滑台及连接臂变形误差，建立了时栅测量系统的 全误差模型；研制一套激光干涉仪与时栅测量系统标定实验装置，实现了时栅测量系统误差的分离，并利用该模型对测量系统 进行误差修正，显著提高时栅测量系统的测量精度，修正后的精度达±8I_tm／m，测量不确定度减小一半O 关键词：时栅测量系统；误差模型；误差修正 中图分类号：TH701；TN9文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．8040 onerroroflineartime measurement Study grating system Gao Zhonghual，2 PengDonglinl’2 ofInstrumentationScienceand (1．School 230009，China； Opto—electronicsEngineering，HefeiUniversityofTechnology,Hefei ResearchCenterofMechanical and 2．Engineering TestingTechnologyEquipment，MinistryofEducation,ChongqingUniversity ofTechnology,Chongqing400054，China) Abstract：Theerrorlawin measurementoflineartime wasresearched．Itis for displacement system grating important themeasurementandfurther thestructureofthemeasurementthebasisofthe improving accuracy optimizing system．On oferrorSOurCeSofthe tableerrorsanddeformationerrorsof analysis system，time舒atingerrors，guidewayerrors，slide the aimwere thetotalerrormodeloftime wasset device linking presentedquantitatively,and grating up．Anexperimental to the for in